Патенты с меткой «энерго-масс-спектрометрического»

Способ энерго-масс-спектрометрического анализа вторичных ионов и устройство для энергомасспектрометрического анализа вторичных ионов

Загрузка...

Номер патента: 1460747

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Кузьмин, Саченко

МПК: H01J 49/26, H01J 49/44

Метки: анализа, вторичных, ионов, энерго-масс-спектрометрического, энергомасспектрометрического

...движения черезэнергоанализатор мешающих высокоэнергетических частиц и излучений,а также нейтральной компоненты, корпус 23 масс-анализатора, которыйобычно имеет тот же потенциал, чтои потенциал на оси масс-анализатора, экран 24 энергоанализатора, потенциал которого райен потенциалу анализируемого образца, источник 25 электрического напряжения постоянногс тока, через который средняя точка парабазного выхода высокочастотного генератора соединена с образцом.Работа устройства происходит сле дующим образом.СЖокусированный пучок первичных ионов высокой энергии, обычно 1 О кэв, направляется на поверхность анализируемого образца, Возникающие 15 в области бомбардировки продукты вторичного излучения, в том числе вторичные ионы, интенсивность...