Гибридная интегральная микросхема
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
,8010409 СОЮЗ СОВЕТСКИХ,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1 1.23 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРСКОМ 3879/18-2103.7905,89. Бюл. 11) 19 ль о-исследо рский инс н итут и т н, приборов и средств жин и Е (088.8) Н.Н.Тех тельных1976, оектиро.Фри М.Ба 1,38 аков испи леменноло гиямашин.с.,268вания миПод реское ра М.) 269.кроэлек Высоцио, 1978 к вы пр аппа М,47.ы овет идной тегральнои микросхеме,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(21) 27 (22) 06 (46) 23 (71) На ко истру тельных измерен (72) Ю, (53) 62 (56) Уш тов выч ВысшаяО сно тронной кого В. с. 241 Изобретение относится к электрон ной технике и может быть использова но для создания функционально закон ченных узлов и блоков радиоэлектрон ной аппаратуры.Известна конструкция гибридной интегральной схемы) включающая диэлектрическое основание, тонкопленочные слои пассивных элементов, ра деляющие их диэлектрические слои и навесныеактивные элементы.Недостатками данной конструкции являются невысокая точность и стабильность пленочных пассивных элементов и ограниченное число споев в схеме.Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является конструкция гибридной интегральной схемы, включающая диэлек 2(54) (57) ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА) включающая диэлектрическое основание, слои пассивных элементов, разделяющие их слои диэлектрика, элементы межслойной коммутации и навесные активные элементы, о т л и - ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности, слои пассивных элементов выполнены иэ фольги, боковые поверхности схемы содержат ступени с расположенными на них контактными площадками, а элементы межслойной коммутации выполнены в виДе слоевприпоя, расположенных на контактных площадках. рическое основание, слои пассивныхэлементов, разделяющие их слои диэлектрика, элементы межслойной коммутации и навесные активные элементы.Недостатком известной конструкцииявляется низкая надежность схемЫ,обусловленная высокими значениями-температурных коэффициентов сопротивления (ТКС) и плохой временнойстабильностью пассивных элементов,а также нарушением элементов межслойной коммутации в виде молибденовыхстолбиков из-за коробления и усадкикерамических подложек в процессетермических операций,Цель изобретения - повышение надежности гибридных интегральных микросхем,Цель достигается тем, что в гибвключающей диэлектрическ ое осн ов ание, слои пассивных элементов, разделяющие их слои диэлектрика, элемен ты м 6 жслойной коммутации и навесные активные элементы, слои пассивных элементов выполнены из фольги, боковые поверхности схемы содержат ступени с расположенными на них контактными площадками, а элементы межслойной коммутации выполнены в. виде слоев припоя, расположенных на контактных площадках.На фиг. 1 представлен общий вид конструкции; на фиг. 2 - отдельный слой схемы.Схема содержит диэлектрическое основание 1, слои пассивных элементов 2, разделяющие их слои диэлектрика 3, ступени 4 на боковых поверхностях схемы, контактные площадки 5, межслойную коммутацию в виде слоя, затвердевшего припоя 6 и активные навесные элементы 7.Для изготовления устройства листы фольги после химической обработки покрывают с одной стороны фоторезистом и производят фотолитографию дляполучения пассивных элементов 2. Затем на вторую сторону фольги наносят.лак для формирования слоя диэлектрика 3, после чего полученные слоиукладывают согласно топологии на основании 1 и подвергают термообработке при Т = 180 - 200 С, при которойобразуется монолитная структура. Далее осуществляют межслойные соединения путем погружения в расплав припоя ступенчатых боковых поверхностейсхемы с расположенными на них контактными площадками 5,Изобретение позволяет существенноповысить надежность гибридных интегральных микросхем за счет того, чтоиспользование фольговых пассивныхэлементов дает возможность на порядок повысить ТКС элементов, в несколько раз улучшить их временнуюстабильность и осуществлять межслойную коммутацию массой припоя без дополнительных родико.
СмотретьЗаявка
2733879, 06.03.1979
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И КОНСТРУКТОРСКИЙ ИНСТИТУТ ИСПЫТАТЕЛЬНЫХ МАШИН, ПРИБОРОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ МАСС
БАЗЖИН Ю. М, ФРИДМАН Е. М
МПК / Метки
МПК: H01L 23/02
Метки: гибридная, интегральная, микросхема
Опубликовано: 23.05.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1040983-gibridnaya-integralnaya-mikroskhema.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Гибридная интегральная микросхема</a>
Предыдущий патент: Устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов
Следующий патент: Устройство для коррекции двигательных функций
Случайный патент: Контакт электролизной ванны