Способ изготовления печатных схем и электролит для осуществления этого способа

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(23) Приоритет -Опубликовано 280283, Бюллетень Мо 8 151) М.КлН 05 К 3/02 Государственный комитет СССР по дедам изобретений и открытий(53 УДК 621396. ,6,049(088.8) Дата опубликования описания 28,02,83(54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ И ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ЭТОГО СПОСОБА10 20 25 30 Изобретение относится к технологии изготовления печатных схем и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.Известен способ изготовления печатных схем, основанный на покрытии диэлектрической подложки металлической фольгой, Формировании на поверхности фольги защитной маски из Фоторезиста, нанесения металлического резиста, удалении Фоторезиста в растворе щавелевой кислоты и хлористого натрия и травлении пробельных участков 11.В качестве металлических реэистов используют золото или серебро, при этом травление фольги проводят в растворе хлорного железа, или сплавы олово-никель, олово-свинец, если травление фольги проводят дорогим и дефицитным персульфатаммонием. Кроме того, известные металлические резисты приходится наносить толстым слоем, так как они частично разрушаются при травлении.Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления рисунка, включающий формирование на фольгированной поверхности подложки защитной маски из металлического оеВ зиста, в качестве материала которой используют хром, травление пробельных участков и удаление металлического реэиста 2.1.Недостатком известного способа является то, что слой хрома характеризуется способностью к растрескиванию в виде сетки и неравномерностью распределения по поверхности, что может привести к нарушению сплошности печатных проводников. Цель изобретения - повышение точности изготовления рисунка и повышение качества слоя металлического реэиста путем обеспечения равномерности его осаждения.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления печатных схем, включающем Формирование на Фольгированной поверхности подложки эац 1 итной маски иэ металлического реэиста, травление пробельных участков и удаление металлического резиста, в качестве материала защитной маски используют сплав хромомолибден,Электролит для осаждения сплава хромомолибден, содержащий хромовый ангидрид, серную кислоту и молиоденовую кислоту,;дополнительно содер1001525 ние, далее наносят маску из сплавахромомолибден толщиной 3-5 мкм приплотности тока 40-50 А/дм , температуре электролита 25-40 С и времени 2-3 мин. Удаление фоторезистаи одновременное травление пробельных участков проводят в азотной кислоте, а удаление защитной маски изсплава хромомолибден проводят врастворе соляной кислоты, далее про 0 мывают плату и обслуживают проводники,Предлагаемый способ позволяет повысить качество рисунка схемы и обеспечивает изготовление печатных схем15 как позитивным, так и негативнымспособом, а также позволяет полностьюисключить расходование серебра и олова при изготовлении печатных схем,350-400 1,5-2,0 Хромовый ангидридСерная кислота 20-25 Серная кислота 20 Формула изобретения Серная кислота 1,5" 2,0 Молибденоваякислога 1,0-3,0 Гидроокись натрия 40-60 В пределах граничных значенийкомпонентов осаждаемый слой хромомолибдена получается качественным,равномерным.При содержании компонентов меньше минимальных граничных значенийслой хромомолибдена в металлизированных отверстиях платы не осаждается,При содержании компонентов в количестве, превышающем максимальныеграничные значения компонентов, наблюдается отслаивание покрытия иего пятнистость.П р и м е р. На фольгированнуюмедью поверхность подложки из стеклотекстолита или гетинакса наносятфоторезист и экспонированием получают рисунок схемы, заготовки обезжиривают и промывают в горячей ихолодной воде, проводят деканироваСостав тельРедактор С. Крупенина Техреду Е.Хар Хромовыи ангидридСерная кислота 350-400 1,5-2,0 Молибденоваякислота 1,0-3,0 Заказ 1455/77 Тираж 843 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 жит гидроокись натрия при следующемсоотношении компонентов, г/л: Молибденовая кислота 1,0-3,0Гидроокись натрия 40-60 Электроосаждение сплава хромомолибден является высокопроизводительным процессом, так как для нанесения слоя металлического реэиста требуется 2-3 мин, и при этом получаются высококачественные и плотные осадки хрома, содержащие молибден.Однако рассеивающая способность известного электролита, содержаще- го, г/л:Хромовый ангидрид 250-260 Молибденоваякислота 20-30 очень низкая и при нанесении слоя хромомолибдена на платы с металлизированными отверстиями поверхности последних не покрываются.Поэтому предлагается электролит с хорошей рассеивающей способностью следующего состава, г/л;Хромовый ангидрид 350-400 1. Способ изготовления печатныхсхем, включающий формирование нафольгированной поверхности подлож ки защитной маски из металлическогорезиста, травление пробельных участков и удаление металлического резиста, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения точности изготовлеиия рисунка, в качестве материала защитной маски используютсплав хромомолибден.2. Электролит для осаждения сплава хромомолибден, содержащий хромовый ангидрид, серную кислоту и молибденовую кислоту, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения качества слоя металлическогорезиста путем обеспечения равномерности его осаждения, он дополнительно содержит гидроокись натрия приследующем соотношении компонентов,г/л: Гидроокись натрия 40-60Источники информации,50принятые во внимание при экспертизе1Авторское свидетельство СССР9 279728, кл. Н 05 К 3/02, 1969.2, Патент Японии Р 9176,55 кл, 99(5) С 3, опублик. 1971 (прототип) .В. Милославскаяито нчик Корректор И, Шулла