Способ получения сферических гранулна основе карбида бора
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ппц 508473 Союз Советских Социалистических Республикс присоединением заявки Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам изобретенийи открытий 23) ПриоритетОпубликовано ень Ме 12(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СФЕРИЧЕСКИХ ГРАНУЛ НА ОСНОВЕ КАРБИДА БОРАбу получения рбида бора и цессах обраиалов, сплавязанных абормула и етени сферических гранул включающий плавлеого материала в понизкотемпер атурной йся тем, что, с вной способности гоный материал вводяти расплавление ве;орости потока 10+ичающийся тем,жащей добавки исИзобретение относится к спососферических гранул на основе каможет найти применение в проботки полупроводниковых матервов, а также при изготовлении сразивов.Известен способ получения сферических гранул на основе карбида бора, включающий плавление исходного порошкового материала в потоке безэлектродной низкотемпературной плазмы.Цель изобретения - повышение абразивной способности готового продукта.Для этого в исходный материал вводят борсодержащую дооавку и расплавление ведут при поддержании скорости потока 10+ +.15 м/сек.В качестве борсодержащей добавки используют аморфный бор.Способ позволяет повысить твердость и однородность гранулометрического состава сферического порошка карбида бора и ооеспечивает повышение удельного съема при полировке полупроводниковых пластин в 2 - 3 раза.П р и м е р. Промышленный порошок карбида бора с размером зерен 100 - 125 мкм в количестве 500 г смешивают с порошком аморфного бора в количестве 50 г и с помощью шнекового пи гцего аргона мую питающ Ы б 0 мм, гд 5 плазменный инертным газ Плазмообр стиканальное ство по тр 0 Архимеда. Ра 10 м/сек. Пр Сф ер ическ на степках в стеклотканев Фтателя в среде транспортирую- направляют через водоохлаждаею тр бку в кварцевый реактор е индуцир уют безэлектродныйразряд, стабилизированный ом (аргоно-гелиевая смесь).азующий газ подают через шераспределительное устройаекторни, близкой к спирали сход газа 50 л/мин,- плазмы оцесс ведут в течение 1 час.й упрочненный порошок оседает одоохлаждаемого конденсатора и ого фильтра. 1. Способ получения на основе карбида бора,нпе исходного порошков 20 токе безэлектродной плазмы, о т л и ч а ю щ и целью повышения абраз тового продукта, в исход борсодержащую добавк 25 дут при поддержании с+-1,5 м/сек. 2. Способ по п. 1, от. что в качестве борсодер пользуют аморфный бор.
СмотретьЗаявка
1836396, 05.10.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476
МАРИН КОНСТАНТИН ГАВРИЛОВИЧ, ФЕДОРОВА ДОЛОРЕС ЛАЗАРЕВНА, КОРОЛЕВА ГАЛИНА НИКОЛАЕВНА
МПК / Метки
МПК: C01B 31/30
Метки: бора, гранулна, карбида, основе, сферических
Опубликовано: 30.03.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-508473-sposob-polucheniya-sfericheskikh-granulna-osnove-karbida-bora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сферических гранулна основе карбида бора</a>
Предыдущий патент: “способ получения мелкозернистогографитового материаа
Следующий патент: Способ разложения карбида кремния
Случайный патент: Способ обработки листовых материалов из сплавов на основе алюминия