Номер патента: 457712

Авторы: Быков, Новожилов, Цепалов

ZIP архив

Текст

с присоединением за32) Приоритетпубликовано 25.01.75. Б Государственный комитетовета Министров СССРло долам изобретенийи открытий(088.8) ьата опубликования описания 11.03.7 72) Авторы изобретения Н, О. Новожилов, В, А, Быков и В, С. Цепало Заявитель СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАН Изобретение относится к обработке полупроводниковых материалов.Известен состав для полирования полупроводниковых материалов, включающий аморфную двуокись кремния (аэросил), аминосоединения (этилендиамин), глицерин, перекисводорода и воду.Цель изобретения - потельность полирования.Это достигается тем, что в спирокатехин и компоненты взятщем соотношении, вес, %:Этилендиамин 26,7 - 64Аэросил 16 - 33Пирокатехин 5 - 7Вода Остальное,осле этого в тр У яют 250 г аэр м шин анин.рующий состав можно применять для вания пластин кремния, имеющего раз.класс предварительной обработки, геометрическую форму, кристаллогра-. ую ориентацию и любую степень легия. высить производи остав введен ы в следуюизобретени Состав для полирован 15 вых материалов, содерж ния, аэросил и воду, от что, с целью повышения процесса полирования, в техин и компоненты взят 20 ношении, вес, %: Этилендиамин Аэросил Пир окатехин Водаия полупроводни ащий аминосоеди личающийся производительно него введен пиро т в следующем с м, ти каьныи вариант технололировального состава. ивают с 200 мл 50 или этилендиамина и рав. Затем в деионизованрциями при перемешиндиамин с пирокатехи 26,7 - 64 16 - 33 5 - 7 ОстальноеПриводится оптимал гии приготовления по 5 г пирокатехина смеш 70% водного раствора номерно перемешивают ную воду (300 мл) по ванин приливают этиле добавл перемеПоли 5 полироличный разную фическ ровани О ехкомпонентную систем осила при интенсивно

Смотреть

Заявка

1904519, 06.04.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5594

НОВОЖИЛОВ НИКОЛАЙ ОСИПОВИЧ, БЫКОВ ВЛАДИМИР АКИМОВИЧ, ЦЕПАЛОВ ВИКТОР СЕМЕОЕНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C09G 1/02

Метки: полирования, состав

Опубликовано: 25.01.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-457712-sostav-dlya-polirovaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для полирования</a>

Похожие патенты