Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ бааз Советских Социалистических) М, Кл. С 01 п 27/ОН 01/ 1/10 Н 05 с 3/00 вки Ъ с присоединением з Госула рственный комитет Министров СССР ам изобретенийоткрытий) Приорите Сове Опубликовано 25.11,74.Дата опубликования оп плетень Хо 43:75,002 (088,8) ния 26.0 о.l Авторыизобретен И. Н. Сорокин и В. 3. Петрова Московский институт электронной техники71) Заявите ТРОЛИТ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК 4 2 радиоэлектроник копленочных ми Присутствие в растствует получению ботпечатков.П р и м е р. Растворением в виола и 0,1 вес./, желатины прбочий электролит. Кремниевузированную ситалловую пластонкими стеклянными пленкамэлектролит и присоединяют к п0 полюсу постоянного источникаможет служить свинец или гртроды подают напряжение 85 - 10 мин. При этих условияхрушения в стеклянных пленках5 атины способтх фенольных воре жел олее четк оде 3 вес.% феиготовляют раю или металлитину, покрытые и, погружают в оложительному тока. Катодомафит. На элек - 10 в в течениевыявляются нашение меров редмет изобретения Электролит для электрических плен 20 что, с целью повыш количества и разме водный раствор фе дующем соотношен Фенол 25 Желатина ВодаИзобретение относится к е,а именно к технологии тон Кросхем,Известен электролит для выявления дефектов в пленке двуокиси кремния, представляющий собой солянокислый раствор бензидина.Однако применение этого раствора ограничено, его нельзя использовать для определения пористости стеклянных покрытий. Бензидин хорошо растворяется только в солянойкислоте, но в солянокислых растворах растворяются и пленки стекла. Кроме того, бензидипявляется токсичным веществом.Целью изобретения является повыточности определения количества и раздефектов в диэлектрических пленках.Для этого электролит содержит водный раствор фенола и желатину при следующем соотношении компонентов, в вес.%;Фенол 2 - 5Желатина 0,1 - 0,5Вода остальное.При электролизе окисление фенола происходит только на дефектах тонких диэлектричесиих пленок с образованием продукта темнокоричневого цвета, нерастворимого в воде. определения дефектов ди ок, отличающийся тем ения точности определения ров дефектов, он содержи иола и желатину при сле ии компонентов, в вес.%:2 - 50,1 - 0,5остальное,
СмотретьЗаявка
1846526, 15.11.1972
МОСКОВСКИЙ ИНСТИУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
СОРОКИН ИГОРЬ НИКОЛАЕВИЧ, ПЕТРОВА ВАЛЕНТИНА ЗАХАРОВНА
МПК / Метки
МПК: H01L 1/10
Метки: дефектов, диэлектрических, пленок, электролит
Опубликовано: 25.11.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-451005-ehlektrolit-dlya-opredeleniya-defektov-diehlektricheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок</a>
Предыдущий патент: Способ измерения теплоемкости и малых эффектов при импульсном нагреве
Следующий патент: Вариатор температуры
Случайный патент: Свободнопоточная гидроэнергетическая установка