H01L 1/10 — H01L 1/10

Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок

Загрузка...

Номер патента: 451005

Опубликовано: 25.11.1974

Авторы: Петрова, Сорокин

МПК: H01L 1/10

Метки: дефектов, диэлектрических, пленок, электролит

...гртроды подают напряжение 85 - 10 мин. При этих условияхрушения в стеклянных пленках5 атины способтх фенольных воре жел олее четк оде 3 вес.% феиготовляют раю или металлитину, покрытые и, погружают в оложительному тока. Катодомафит. На элек - 10 в в течениевыявляются нашение меров редмет изобретения Электролит для электрических плен 20 что, с целью повыш количества и разме водный раствор фе дующем соотношен Фенол 25 Желатина ВодаИзобретение относится к е,а именно к технологии тон Кросхем,Известен электролит для выявления дефектов в пленке двуокиси кремния, представляющий собой солянокислый раствор бензидина.Однако применение этого раствора ограничено, его нельзя использовать для определения пористости стеклянных покрытий. Бензидин...