415559
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 415559
Текст
"- -Бл41 9 ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистических РеспубликК АВТОРО(ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства-Заявлено 18,1.1972 ( 1740749,26.25)с присоединением заявки-ПриоритетОпубликовано 15.11,1974, БюллетеньДата опубликования описания 20 Л 1 л. С 01 п 21,46 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изооретеннйУДК 5 З 5.8(088.81 и открыти Авторыизобретен Потапов и А. В, Рако. А. Егорова, Н, С, Иванова,явител ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕН И ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОЙ ПЛЕНКИИзвестен способ определения показателя преломления и толщины прозрачной пленки путем нанесения ее на подложку и измерения параметров отраженного эллиптически поляризованного света фиксированной длины вол ны при фиксированном угле падения. Однако точность определения параметров по такому способу снижается из-за малой чувствительности эллипсометрии, особенно в области субтонких пленок толщиной порядка 10 -см. 10Предлагаемый способ позволяет повысить точность определения. Это достигается тем, что при измерениях свободную поверхность пленки вначале помещают в среду, оптически менее плотную, и производят измерение раз ности фаз между перпендикулярно и параллельно поляризованными компонентами отраженного от пленки света, а затем пленку помещают в среду, оптически более плотную.Способ осуществляют следующим образом. 20 Пленку приводят в оптический контакт с прозрачной средой; имеющей показатель преломления меньший, чем показатель преломления измеряемой пленки, и измеряют Л 1 - разность фаз между параллельной и перпенди кулярной составляющими отраженного света. Затем пленку приводят в оптический контакт с прозрачной средой, имеющей показатель преломления большии, чем показатель преломления измеряемой пленки, и измеряют Ле - разность фаз между перпендикулярной и параллельной составляющими. Расчеты показателя преломления пленки и ее толщины производят по монограммам, построенным па основании решения основного уравнения эллипсометрии в координатах измеренных Л 1 и Ле. Предмет изобретения Способ определения показателя преломления и толщины прозрачной пленки путем нанесения ее на подложку и измерения параметров отраженного эллиптически поляризованного света фиксированной длины волны при фиксированном угле падения, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности, свободную поверхность пленки вначале помещают в среду, оптически менее плотную, п производят измерение разности фаз между перпендикулярно и параллельно поляризованными компонентами отраженного от пленки света, а затем пленку помещают в среду, оптически более плотную.
СмотретьЗаявка
1740749, 18.01.1972
МПК / Метки
МПК: G01N 21/21, G01N 21/41
Метки: 415559
Опубликовано: 15.02.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-415559-415559.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">415559</a>
Предыдущий патент: 415558
Следующий патент: 415560
Случайный патент: Способ получения производных тиазоло3, 4-апиримидинов