Способ определения показателя преломления пленки

Соеэ Советскнк Соцналнстнческнк РеспублнкОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ(21) 211.4909/ 01 О 21 5 Ио -Государственный комитет СССР яо делам изобретений и открытийДата опубликованн описания 15068 2) Автор нзобретенн(71) Заявител Рязанский радиотехнический инстит(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛСИЛЕНИПЛЕНКИ.та 2 .Этот способ не обеспечивает неразрушающего метода контроля химически активных пленок, применим толькок прозрачным пленкам, может бытьиспользован в спектральной области, 0 ограниченной пропусканием поляриэующих устройств.Целью изобретения является упрощение измерений и расширение области,исследований, а также измерение 5 не только действительной части пно и мнимой частим д,комплексногопоказателя преломления, действительной и мнимой части диэлектрическойпроницаемости, исследование оптичес ких характеристик как прозрачных,так и поглощающих пленок любой толщины.Поставленная цель достигаетсятем, что в способе определения показателя преломления пленки путем облучения и регистрации отраженного отнее света регистрируют интенсивн3 р пучка естественного света любдлины волны, падающего на фотопр 30 ник, затем на пути светового пуч остьойнемка Изобретение относится к технике измерения абсолютных значений показателя преломления и может быть использовано в оптической промышленности, микроэлектронике, интегральной оптике, голографии для бесконтактного контроля физических свойств пленочных веществ.Известен способ определения показателя преломления пленки путем измерения параметров интерференционныхспектров (1)Недостатком этого способа являются ограничения области исследований по толщине пленки и по спектральному интервалу, что связано с обеспечением условия появления интерференции в прозрачной пленкеИзвестен способ определения показателя преломления и толщины прозрачной пленки путем нанесения ее на подложку и измерения параметров отраженного эллиптически поляризованного света фиксированной длины волны при фиксированном угле падения, в котором с целью повышения точности свободную поверхность пленки вначале помещают в среду оптически менее плотную, а затем в среду оптически более плотную н при этом производят измерение разности фаэ между перпендикулярнои параллельно поляризованными компонентами отраженного от пленки све 855450помещают исследуемую пленку, плоскость которой располагают перпендикулярно оси светового пучка, и изме" ряют интенсивность прошедшего через пленку света Эд ; поворачивают фото- приемник на угол 165 ос Ч ( 180 О, затем поворотом исследуемого образца на угол 9 ( Л15 о направляют пучокосвета на фотойриемник и измеряют интенсивность отраженного от пленки света Э, а о действительной р и мнимой ой частях комплексного показателя преломления судят.по соотношениям:У-Т 2+ 2 (-9.К) -Т:обппжц -Айса/где Т:3 с)/Зо - коэффициент пропускания пленки;2: Г - прозрачность пленки;с 6 - натуральный показательпоглощения;д - толщина пленки)Р:3/3 - суммарный коэффициентотражения,Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена принципиальная схема устройства для реализации данного способа.Устройство содержит источник света 1, детектор 2 и образец 3.Способ осуществляется следующим образом. ВНаЧалЕ фотсприемнИКОМ.дЕтектором) 2 регистрируют интенсивность пучка естественного света любой длины волны. Затем на пути светового пучка помещают исследуемую пленку (образец) 3, плоскость которойрасполагают перпендикулярно световомулучу и измеряют интенсивность прошедшего через пленку света, поворачивают фотоприемник на угол, близкийк 180 ф, поворотом образца на угол9 О( Ф ( 15 направляют луч света вокно .фотоприемника, измеряют интен"сивность отраженного от пленки света.Оптические характеристики определяютпо соотношениям, используя измеренные интенсивности.Применение предлагаемого способа дает возможность получения комплексной информации о физических свойст" вах пленочных материалов что позРволяет выбирать наиболее оптимальные режимы изготовления пленок, применяемых в новейших областях техники.Этот способ позволяет снизить затраты на исследования., так как он не требует специального оборудования и прост в реализации.формула изобретенияСпособ определения показателяпреломления пленки путем облучения ирегистрации отраженного от нее света,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью упрощения измерений и расши"рения области исследовании, регистрируют интенсивность Ло пучка естественного света любой длины волны,падающего на фотоприемник, затемна пути светового пучка помещают исследуемую пленку, плоскость которойЗ) располагают перпендикулярно оси светового пучка, и измеряют интенсивность прошедшего через пленку светаповорачивают фотоприемннк на угол165 Ь Ф180 О затем поворотом ис"2 Я следуемого образца на угол 9 о 4 9 4 15направляют пучок света на фотоприемник и измеряют интенсивность отраженного от пленки света 3, а о действительной и мнимой и частях л й3 комплексного показателя преломлениясудят по соотношениямЛ- т 2+ Ъ( - 2 Г) -т: ОЗЯ4 гс(о-Пп 2 - "ф .В-а,преломления;д - толщина пленкиуФфр/о " суммарный коэффициент4 Я отражения,Источники информации,принятые во внимание при экспертиза1, Валеев А,С, Определение оптических постоянных тонких слабопогйоЯ щающих слоев.-1 Оптика и спектроскопия, 15, выл. 4,1963, с500,2. Авторское свидетельство СССРР 415559, кл. О 01 Н 21/46, 1974855450 Состаова Жехред тель Н.Пекарь ва актор И.Нес аэ 6894/5Патент ф лнал ППП ВНИИП И по д 3035, МорректорС. Хоряивико ж 907 Подписноесударственного комитета СССРам изобретений и открытийва, й"35, Раушская наб., д. ужгород, ул. Проектна