Виблио: gt; amp; н-.
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических Республик. Кл. Н 011 7/50 6-25 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРриоритетпубликовано 15.11.1973. Бюллетень М 11 ата опубликования описания 17,1 Ч.1973621.382.002 (088,8) вторызобрете А. Т, Андреев, Н, А, Иванова и Г. маиш 3 аявител РАВИТЕЛЬ Д ЕМНИЕВЫХ ПО СТРУКТУРОВОДН И КОВ полупроводниковой использовано для ремниевых полуОптпмальныи состав травителя имеет слеющие концентрации, в г-экв/л: Плавиковая кислотСерная кислотаБихромат калия 90,136 Предложеннравления повержащих ник акты, вольер енсаторы. Предмет изобретени Травитель для кремниевых полупров ковых структур с металлическими элем ми, содержащий плавиковую тсислоту и б мат щелочного металла, отличающийся что, с целью осуществления травления б щиты металлических элементов констру он содержит серную кислоту, в качеств хромата щелочного металла примене хромат калия, а компоненты взяты в сл щем соотношении, вес. %:Плавиковая кислотаСерная кислотаБихромат калия одниента- ихротем, ез закции,б уществление травлееских элементов коню 14 - 25,2 3,6 - 180,034 - 0,1 37,2 - 35,6 62,6 - 62,9 0,2 - 1,5 30 Изобретение касается электроники и может быть травления р-а переходов к проводниковых структур.Известны кислотные травители на основе 5 смесей плавиковой и азотной кислоты.Известен также травитель, в котором вместо азотной кислоты в качестве окислителя введен перманганат калия - КМпО.Однако такие правители малопригодны прп 10 травлении,конструкции, содержащей различные металлические элементы (контакты, припой, компенсаторы, крнсталлодержателп и т. д.), так как в этом случае, растворяются преимущественно металлы. Прп применении 15 подобных травителей необходима защита металлических частей конструкции от разрушения, что значительно усложняет технологический процесс.Цель изобретения - осния без защиты металлич стр укции.Для этого в состав предложенного травителя, содержащего плавиковую кислоту, введены серная кислота и бихромат калия. Компо ненты травителя взяты в следующем соотношении, вес. %: Плавиковая кислота Серная кислота Бихромат калия й туавитель опробован для рхности фаски тиристоров, соелевые или алюминиевые конмовые пли молибденовые ком
СмотретьЗаявка
1648453
А. Т. Андреев, Н. А. Иванова, Г. С. Комаишко ЕССЮЗНЛУ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: виблио
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-370682-viblio-gt-amp-n.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Виблио: gt; amp; н-.</a>
Предыдущий патент: Есесою:
Следующий патент: Способ сборки полупроводниковых приборов
Случайный патент: Бинарный гидроциклон