Способ изготовления стальных кассет

Номер патента: 247413

Авторы: Василенко, Завгородний

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик.Х,1967 ( 1193581/26-25 явле некием заявкиис МПК Н 011УД К 621.382.002 (088,8) иоритетубликовано 04,Ч 1.1969. Бюллетень2та опубликования описания 28,Х 1,19 б 9 комитет оо делам изобретений и открытии ори Совете Министров СССР, Завгородний аявите ПОСОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТАЛЬНЫХ КАСС кас ние в мин, плени вые водение мин,едмет изооретени тальных кассет, надля работы в вакууоперации обезжириучения на ней окисл тем, что, с целью роцесса, кассеты изтх сталей, а термоосредственно после е паров воды при Йастоящее изобретение относится к технике полупроводникового производства, в частности к обработке технологических кассет для придания их поверхности несмачиваемости расплавами А 1, А 1 - Я, Ап - Яб - Я.Известен способ изготовления стальных кассет, предназначенных для работы в вакууме, заключающийся в том, что кассету обезжиривают, хромируют и получают окисную пленку в протоке влажного водорода. Этот способ сложен, длителен, неэкономичен, связан с большим расходом водорода и необходимостью хромирования поверхности.Цель настоящего изобретения - упрощение и ускорение процесса. Достигается она тем, что в качестве материала для изготовления кассет используют хромистые стали, например Х 12 (ГОСТ 5950 - б 3), что позволяет исключить операцию хромирования, Обработку ведут в протоке паров воды при 830+10 С в течение 30 мин с последующим охлаждением в течение 30 мин,Технологический процесс изготовления сет включает трехкратное обезжирива кипящем трихлорэтилене в течение 3 - 5 сушку при 90 - 100 С, получение окисной ки в протоке водяного пара с загрузкой держкой в печи при 830+.10 С в протот дяного пара в течение 30 мин и охлаж при комнатной температуре в течение 30 Спосоо изготовления с пример, предназначенных 5 ме, включающий в себя вания поверхности и пол ной пленки, отличаюгиггйс упрощения и ускорения п готавливают из хромисть 0 обработку проводят неп обезжиривания в проток 830+ 10 С.

Смотреть

Заявка

1193581

Н. М. Василенко, В. К. Завгородний

МПК / Метки

МПК: H01L 21/68

Метки: кассет, стальных

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-247413-sposob-izgotovleniya-stalnykh-kasset.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления стальных кассет</a>

Похожие патенты