Широкопольный растровый объектив

Номер патента: 247412

Авторы: Глазков, Ивакин, Шадурский

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 242412ИЗОБРЕТЕНИЯ Сома Совотскин Социалистическиа РеспуйлннЗависимое от авт. свидетельстваКл, 21 д, 11/02 Заявлено 13.Х 1,1967 ( 1196387/26-25) присоединением заявкиЧПК Н 011 ДК 621.382(088.8) Приорите Комитет но делам зобретвний и открыти при Совете Министров СССРОпубликовано 04.71.1969. Бюллетень22Дата опубликования описания 8.Х 11,1969 п,.е.иа:Йф Авторыизобретения плтвтно пхнжс.ля 1 ( Ьй 6:ЖОТЕЕ А лазков, Г, П, Шадурский и Е. В, Иваки аявите ЛЬНЬЙ РАСТРОВЫЙ ОБЪЕКТИВ ШИР кит линзовый растр 1, орого состоит из чет з 3. Все линзы раст ы апертурной диафра рагмой 5, которая пооче и линзы из четырех во асстояние 1 между лин строго одинаково и р суемому элементарной соблюдения шага Т я ий не предъявляется. Объектив содер дая ячейка 2 кот элементарных лин задиафрагмирован 0 4 и сменной диаф но перекрывает тр ячейках растра. Р в каждой ячейке рабочему полю, ри 5 зой, К тоности высоких требованажырех ра 1 мо всех зами авно лин- чеек Предлагаемый растровый объектив предназначен для получения комплектов фото- шаблонов, используемых при изготовлении полупроводниковых приборов и твердых схем.Известен растровый объектив, содержащий сменную диафрагму и систему преломляющих оптических элементов (линзовых растров), расположенных в определенном порядке в одной плоскости для размножения изображений оптическим путем с одновременным уменьшением (200 - 700-кратным). Однако поле, которое обеспечивает каждая элементарная линза растра, не превышает 0,5 Х 0,5 мм в пространстве изображений. Это затрудняет внедрение растров в производство твердых схем и отдельных полупроводниковых приборов, размеры которых достигают 1 Х 1 мм и больше.Предлагаемый широкопольный растровый объектив обеспечивает качественное изображение на большом поле за счет того, что каждая из ячеек линзового растра включает в себя несколько элементарных линз, расположенных одна от другой в ячейке на расстоянии, равном рабочему полю, рисуемому элементарной линзой.Строгое равенство расстояний между отдельными элементарными линзами обеспечивает качественную стыковку частей целого изображения, полученного по частям,На чертеже изображены две проекции части четырехлинзового шпрокопольного растрового объектива (на второй проекции сменная диафрагма не показана). При воспроизведении оригинала через однуиз линз каждой ячейки растра фотографи руется первая четверть оригинала, после чегобывшие в работе линзы с помощью сменной диафрагмы перекрываются, а следующие линзы каждой ячейки открываются, затем делается второе экспонирование и т. д. до по строения полного изображения. Таким образом, для получения фотошаблона с помощью данного объектива необходимо провести четыре съемки отдельных четвертей целого оригинала, которые стыкуются на фотослое и 0 образуют полный рисунок,247412 Предмет изобретения Составитель В. П, Мирошкина едактор Т, 3. Орловская Техред Т, П, Курилко Корректор С. М. СигалЗаказ 318774 Т рахн 480ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СоветеМосква М(-35, Раушская наб., д. 45 Подписно пиетров СССРипографня, пр. Сапунова,Широкопольный растровый объектив, содержащий линзовый растр и сменную диафрагму, отличающийся тем, что, с целью увеличения размеров рисунка схемы на фотошаблоне с обеспечением стьпсовки частей целого изображения, полученного по частям оптическим путем, линзовый растр состоит из ячеек, каждая из которых включает в себя несколько элементарных линз, расположенных одна от другой в ячейке на расстоянии, равном рабочему полю, рисуемому элементарной линзой,

Смотреть

Заявка

1196387

И. М. Глазков, Г. П. Шадурский, Е. В. Ивакин

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: объектив, растровый, широкопольный

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-247412-shirokopolnyjj-rastrovyjj-obektiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Широкопольный растровый объектив</a>

Похожие патенты