212750
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 212750
Текст
З 275 О Союз Соаетоииз Социзлнстичеоиид РеопуОлиаК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 19,Х 1.1966 ( 1120366/23-4)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 29.11,1968. Бюллетень9Дата опубликования описания 8,Ч.1968Комитет оо делам изобретений и открытийи Совете Министров СССР Авторыизобретения В. Н. Верткина, М. С. Динабург, Б. А, Порай-Кошиц, Л,и Т. А. Юрре Заявитель енинградский технологический институт им. Ленсовета СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТО 1Изобретение касается способа полученияфоторезистов, применяемых в полиграфической промышленности, радиотехнике и электронике,Известен способ получения фоторезистов нд 5основе эфиров фенолформальдегидных смоли нафтахинондиазидсульфокислот, Такие фоторезисты обладают высокой разрешающейспособностью, дают резко дифференцированную границу пробельных и схемных элементов изображения, образуют достаточно гомогенный копировальный слой с удовлетворительной стойкостью к кислотам, но непрочныйе щелочной среде.Предложен способ получения фоторезистов 15для рельефных поз 1 тивных светокопировдльных слоев, которые, кроме указанных свойств,обладают способностью при непродолкительной тсрмообработке Обрдзовывать пространственные структуры. Это достигается тем, что 20в качестве фенолформдльдегидных смол применяют эпоксидированные фенолформдльдегидные смолы. Светокопировальные слои, полу:еннье ооычным способом на основе такихэфиров, после экспонирования и проявления 25подвергаотся термообработке при бО - 100 С,в результате которой они теряют оастворимость в щелочах. Вследствие этого становитсяРозлгокны дальнсйш 1151 химическая Обргботка полученных изделий в щслоной среде, что 30особенно важно, например, при травлении алюминия. Кроме этого, главного преимугце ства, предлагаемые фоторезисты обладают повышенной адгезией к подложке, дают более гомогенные и прочные пленки.Г 1 р и м е р. 7,9 г 1,2-нафтохинондиазид-(2).5-сульфохлорида и 5 г эпоксидноноволачной смолы (содержание эпоксидных групп 7,8 - 8,0 о, гидРоксильных гРУпп 11,8 - 12 ого, т. пл.50 - 51 С) растворяют в 100 тгл диоксаня, при 40 С медленно прибавляют 10% -ный раствор соды до слабощелочной реакции на бриллиантовую желтую и выдерживают 3 час, Затем реакционную массу разбавляют 100,5 гг воды, охлаждают, растирают осадок с водой, промывают нд фильтре до нейтральной реак. цип, сушат на воздухе в отсутствии светя, Выход 8,4 г. Продукт желтого цвета, растворим в диметилформдмиде, диоксане. этилцеллозо,ьве, с трудом растворяется в ацетоне и этилацстдте, нерастворим в спиртах. Предмет изооретенияСпособ получения фоторезистов путем ндиссен 1 яг под;ОКку эфиров фен олформдлг, дегидных смол и нафтохинондиазидсульфокислот, ог.ггггагогцггг 1 ся тем, что, с целью получения фоторезистов, теряющих после термообработкп растворимость в щелочах, в кдчествс фснолформальдегидных смол исполь. "уют эпокглдировднные фенолфорадльдегыные смолы,
СмотретьЗаявка
1120366
МПК / Метки
МПК: G03F 7/039
Метки: 212750
Опубликовано: 01.01.1968
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-212750-212750.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">212750</a>
Предыдущий патент: Способ сенсибилизации галогенидосеребряныхэмульсий
Следующий патент: Интерференционный резольвометр
Случайный патент: Стереоскопический рентгеновский аппарат