Патенты с меткой «212750»

Номер патента: 212750

Опубликовано: 01.01.1968

МПК: G03F 7/039

Метки: 212750

...слоев, которые, кроме указанных свойств,обладают способностью при непродолкительной тсрмообработке Обрдзовывать пространственные структуры. Это достигается тем, что 20в качестве фенолформдльдегидных смол применяют эпоксидированные фенолформдльдегидные смолы. Светокопировальные слои, полу:еннье ооычным способом на основе такихэфиров, после экспонирования и проявления 25подвергаотся термообработке при бО - 100 С,в результате которой они теряют оастворимость в щелочах. Вследствие этого становитсяРозлгокны дальнсйш 1151 химическая Обргботка полученных изделий в щслоной среде, что 30особенно важно, например, при травлении алюминия. Кроме этого, главного преимугце ства, предлагаемые фоторезисты обладают повышенной адгезией к подложке,...