Способ определения парциальных толщин многокомпонентных пленок

Номер патента: 194198

Авторы: Малахов, Техня

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ 194198ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВНДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Ме - Заявлено 03.111.1966 ( 1061995/26-25 ч. 21 д, 21/13 исоединением заявки М Комитет позобретеиий ипри Совете МСССР ПК 6 ПриоритетОпубликовано 20.111.1968. Бюллетень МоДата опубликования описания 15 Х.19 б 8 ДК 539.219.1(088,8 истров ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНЫХ ТОЛЩИ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНОКБлагодаря этомуциальные толщины нок без знания сеч частиц на ядрах ко 5 измерение и повыша можно измерять пар. ногокомпонентных плений упругого рассеяния понентов, что упрощает т точность,осится к области изучени веществ путем облучени ия характеристик прошед Предмет и зоб ния Изобретение отн Я ядерной структуры я вещества и измереншего излучения.Известны способы измерения парциальных толщин однокомпонентных пленок, согласно которым пленку облучают заряженными частицами и по измеренному выходу резерфордовского рассеяния от ядер пленки определяют парциальную толщину пленки.Если же сечения упругого рассеяния заряженных частиц на ядрах элементов пленки известны, то парциальные толщины определяют по площадям пиков в спектре этих частиц.Описываемый способ состоит в том, что исследуемые пленки берут в количестве, равном количеству компонентов пленки, измеряют выход резерфордовского рассеяния частиц на ядрах компонентов, измеряют площади пиков в спектре упругого рассеяния заряженных частиц на ядрах пленки и по полученным результатам и соответствующим уравнениям получают величины парциальных толщин. О Способ определения парциальных толщпп многокомпонентных пленок, состоящий в том, что исследуемые пленки подвергают облучению заряженными частицами, измеряют площади пиков в спектре упругого рассеяния за 5 ряженных частиц на ядрах пленки и по полученным результатам и соответствующим уравнениям получают величины парциальных толщин, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения точности измерений, исслеО дуемые пленки берут в количестве, равном количеству компонентов пленок, и измеряют общий выход резерфордовского рассеяния частиц на ядрах компонентов пленок,

Смотреть

Заявка

1061995

И. Я. Малахов Физико технический институт УССР, ТЕХНЯ БКГПНОТГ

МПК / Метки

МПК: G01T 1/08, G21H 5/00

Метки: многокомпонентных, парциальных, пленок, толщин

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-194198-sposob-opredeleniya-parcialnykh-tolshhin-mnogokomponentnykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения парциальных толщин многокомпонентных пленок</a>

Похожие патенты