Тнгшев
Тонких пленок
Номер патента: 279119
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Липовка, Тнгшев
МПК: G01N 25/18
...Раунскан набд. 4/5Типографии, пр. Сапуиовгь 2 дой, Зная отношение толщин исследуемой иэталонной пленок. находят коэффициент теплопроводности исследуемой пленки по формуле Способ определения теилопроводности тонких пленок путем нагревапгя их тепловым потоком, От гсгчагогг 1 иггсгг тем, чго, с целью повышения точности определения, на часть поверхности подложки наносят исследуемую пленку, покрывают ее и оставшуюся часть подложки эталонной пленкой, пропускают тепловой поток со стороны подложки, измеряют разность температур между поверхностями эталонпой пленки, папесенцыли на исследуемуго гленк) и подложку, и нь 1 ходят искому 10 вели чину по формуле где Х,п - коэффициент теплопроводности исследуемой пленки,ап - - толщина исследуемой...