Тонких пленок

Номер патента: 339763

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гарасимюк, Гевло

МПК: G01B 7/06

Метки: датчик, микроконтактный, пленок, покрытий, толщины, тонких

...с полусферическим торцом, а микроэлектроды выполнены в виде четырех изолированных секторов, напыленных на полусферический торец,Г 1 рименение предлагаемого датчика позволяет значительно уменьшить расстояние между потенциальными и измерительными контактами и соответственно уменьшить диапазон контролируемых толщин металла,На чертеже изображен предлагаемый датчик. Датчик состоит из капролонового стержня1, который свободно передвигается вдоль оси в капролоновой головке 2, Взаимно перпендикулярные канавки 3 образуют четыре омед ненные контактные площадки 4. Пружина 5обеспечивает равномерное прижатие контактной головки к контролируемой поверхности металла. Провода б служат для подачи измеренного сигнала от электродов на схему 10...

Номер патента: 342514

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Таксар, Терехов, Тумулькан, Федорков, Федотов, Янушковский

МПК: G01B 15/02, G01N 23/02

Метки: листовых, пленок, плотности, поверхностной, толщины

...нечувствительные области регистрации детекторов ядерного излучения) . Поскольку в области б, прилегающей к источнику, поток обратнорассеянного от газовой среды р-излучения наиболе интенсивный, то доля нерегистрируемых из общего числа отраженных частиц значительна и применение даже идеально широкого детектора, охватывающего Области б и 7, пе позволяет устранить завиоимость числа регистрируемых частиц от изменения плотности отражающей среды. В результате становится нецелесообразным строить подобные устройства.Такиы образом, точность измерения толщмны или поверхностней плотностями листовых материалов и пленок сильно зависит от геометрии взаимного расположения источника излучения и детектора в тех случаях, когда изменяются параметры газовой...

Номер патента: 500497

Опубликовано: 25.01.1976

Авторы: Бойков, Гольцман, Синенко

МПК: G01N 25/18

Метки: коэффициента, пленок, теплопроводности, тонких

...подложки,судят об искомых величинах,Однако этому устройству свойственнанизкая точность при измерениях образцовс малыми толшинами. Вызвано это тем,что о теплопроводности образца судят повремени прохождения тепловой волны черезпоперечное сечение исследуемой пленки,которое для пленок малой толщины (порядка одного микрона) равно 10-8+10-10 секв зависимости от температуропроводности 2 о образца, Регистрация и измерение подобнькк процессов представляют собой а настоящее ,время большие трудности и не могут бытьосуществлены с достаточной точностью.Бель изобретения - повышение точностф измерения коэффициента теплопроводности пленок.Достигается это тем, что проводящий ,слой выполнен в виде полоски, расположен- ной в средней части подложки между...

Номер патента: 1397722

Опубликовано: 23.05.1988

Авторы: Гвардионов, Трунов

МПК: G01B 11/16

Метки: пленки, показателя, преломления, толщины

...10 травления с регулируемымуровнем травителя, лазер 11, светоделитель 12, опорное зеркало 13 исистему 14 регистрации интерференционной картины. Элементы 11-14 раз" 25мещены по схеме интерферометра Майкельсона, в котором вместо зеркала,размещенного в измерительном плече,использован свободный край подложки2, которая консольно закреплена в камере 10 травления так, что лучи света, падающие на подложку под разнымиуглами, сходятся на ней вблизи точки закрепления,Устройство работает следующимобразом, ционной картины, где они интерферируют,При стравливании пленки с подложки 2 получают информацию о толщине,показателе преломления и распределе"нии напряжений по толщине пленки, Дляраспределения напряжений по толщинепленки справедлива...

Номер патента: 1583737

Опубликовано: 07.08.1990

Автор: Трунов

МПК: G01B 11/06

Метки: заданной, пленки, толщины

...модулированным потоком ВеществаОпределяют разность фаэ пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца Для этого пучок, отраженный от участка П 1, с помощью светоделителя 5 на" правляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от. участка П 2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напылениепрекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования принапылении на контрольный образец и подложку. Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец,имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и...