Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 560006
Автор: Гольфенштейн
Текст
(22) Заявлено 24,03.75 (21) 212231825 1),Л 1, Кл.е С 23 С 13/О соедиисцием заяки Л Гасударственным ноынтет Саввта Ммнмстроа СС:р аа делаы нзооретеннн и ет)(о(нтнн(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ИСПАРЕНИЯ ВЕЩЕСТВ В ВАКУУМЕИзобретение относится к получению тонких пленок в вакууме, точнее к способам измерения динамических параметров в процессе испарения материала и получения плсцок.Известен способ измерения скорости испарения 11, основанный на измереции тока иасыщеция положительных ионов с помощью разделения положительно и отрицательно заряженных потоков во всем паровом обтс.Г. Этот способ требует примсцсия высоких цапряжеций, которые оказывают сушсстсшос влияние ца стехиометрический состатоцкой пленки.Наиболее Олизким техцичсс:,им рслГиисм к изобретению является способ и:3 мсрсцПя скорости испарения всПеств в вакууме лосрс:с - вом измерения тока термоэлсктроццой эмиссии испаряемого вещества 2).Этот способ ие обеспечивает достаточцой точности измерения скорости испарения В вакууме веществ, частично диссоциироваццыхрасплаве (например, твердых элсктрогп(тов типа КЬАд)1(ь КА15), из-за помех, создаваемы."( током отрицатсльцых ио:ов. Кроме того, в прОцессе иза(срсПй оказы 3 ется Влияцис и стехиометрический состав пленки.Цель изобретения - повыи:сцис точиостп измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично диссоциироваццых В расплаве, при одцоврсмсП сохрацсции стсхиомстрии плсцки по Отцоп)ецию к испар 51 смОмм Всществу.Это достигается тем, что поток испаряющихся 1 астиц модулирустся псрсмснцым электрическим полем и измсрястся амплитудноезцачецие частотцо-модулироваццого тока цасышсция электродов эмиттироваццых поверх(остью испарения.Анализ Золы-ампсрцьх характеристик прииспарсции рассматриВПГмых 13 си 1 сст 13 показь 1- 3 ас, 110 Ок иГ 1 и(сци 51 эл(к роцо 3 цабл 10- ДаСТС 51 ПРИ ИИЗКИ.Ц;3 ЦР 1351 ГЦИ 51 Х (ПОР 51;1 К(1100-: 200 В),11 а 1 сп 1 Г)1(с пок 13 и; 30,)можиа 5) схс)1 рса 1) лизации прсдлагасмо: 0 способ(1."ОСт;ТОИОГ Ди ГО)1) 1 Г.,ИЯ т ГК( ИПСЬИ 1 ГЦИ 51гГктроцов.От истОПик); 0 ис 3 С(ки, ии) 1 сц 1 х и;1 П) 5 ЖГ 1 И, МГЖ ") 1 03 ГРХОС ЬО ИСЦ Ь 0(31 И и ИССТКО); И ПИК 11:1.3)ГСЯ а:т)5 ЖГИИГ С (1 СТО 01( а; рЯжс 111 Г р Ск 1 (1) . Э го 1 111) 51 жс560006 Составитель А. ЛобановТскред Л. Брахнина Корректор Л, Брахнина Редактор И. Грузова Заказ 469/2 Изд.52 Тираж 30 ПодписноеЕПИ Государственного комитета Сонета Министров СССР ио дслаги изобрсзений и открытий 3035, Москва, Ж, Рау:некии ннб., д. 4,5типографии нр. С; иунонн, 2 ние модулирует электронный поток по частоте и слабо влияет на поток тяжелых отрицательных ионов и комплексов. На нагрузо гном сопротивлении 7, включенном в анодную цепь, при помощи измерителя 8 амплитудного значения переменной составляющей, измеряют амплитуду напряжения на частоте , пропорциональную току насыщения электронной составляющей, Это значение и определяет скорость испарения вещества, так как является функцией величины поверхности испарения и температуры,Формула изобретенияСпособ измерения скорости испарения веществ в вакууме посредством измерения тока термоэлектронной эмиссии испарясмого вещества, отличающийся тем, что, с цельюповышения точности измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично дпссоциированных в расплаве, при одновременном5 сохранении стехиометрии пленки по отношению к испаряемому веществу, поток испаряющихся частиц модулируется переменным электрическим полем и измеряется амплитудноезначение частотно-модулированного тока наО сыщсния электронов, эмиттированных поверхностью испарения.Источники информации, принятые во внимание прп экспертизе:1. Лвт. св. М 328215, кл. С 23 с 13/00,15 12. 11.1971,2. Авт. св. М 297303, кл. С 23 С 13/00,11. 12. 1970.
СмотретьЗаявка
2122318, 24.03.1975
ГОЛЬФЕНШТЕЙН ПАУЛ НУХИМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/00
Метки: вакууме, веществ, испарения, скорости
Опубликовано: 30.05.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-560006-sposob-izmereniya-skorosti-ispareniya-veshhestv-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме</a>
Устройство для измерения концентрации заряженных частиц в потоке исследуемого вещества
Номер патента: 1004820
Опубликовано: 15.03.1983
Авторы: Великовский, Китаев, Китаева, Резников
МПК: G01N 15/06
Метки: вещества, заряженных, исследуемого, концентрации, потоке, частиц
...тем, чтоустройство для измерения концентрации заряженных частиц в потоке исЗО -следуемого вещества, содержащее тру.1004820 Формула изобретения НИИПИ Заказ 1870/53 Тираж 871 Подписи.филиал ППП "Патент", г. Ужгород,ул.Проектна збопровод с диэлектрическими стенками магниты, создающие перпендикулярное оси трубопровода однородное магнитное поле, измерительные электроды и систему регистрации, снабжено диэлектрической пластиной, плоскость 5 которой параллельна оси и напранле" нию силовых линий магнитного поля, а измерительнйе электроды выполнены н ниде ионных ловушек и установлены симметрично относительно указанной 10 пластины.На чертеже представлена схема устройства.Устройство содержит прямоугольный трубопровод 1 из электроизоляцион...
Смеситель потоков текучих веществ
Номер патента: 1607916
Опубликовано: 23.11.1990
Авторы: Афанасьев, Власов, Ивакин
МПК: B01F 5/06
Метки: веществ, потоков, смеситель, текучих
...9 направляется в отводящий трубопровод. Другой поток через зазор между корпусоми внешней обечайкой 5 и через отверстия перфорации 8 во внешней обечайке 5 попадает в кольцевой зазор между внешней обечайкой 5 и внутренней обечайкой 6, разворачивается на 180 и далее через отверстия перфорации 7 направляется на смешение со вспомогательным холодным потоком, который поступает в смеситель через входной осевой патрубок 2 и подается к месту смешения потоков по внутренней обечайке 6, Окончательное перемешивание потоков осуществляется в отводящем трубопроводе за смесителем.Разделение горячего потока на два потока обеспечивает термостатирование наиболее сложной по геометрической форме тройниковой зоны корпуса 1 смесителя и отсутствие в ней...
Способ герметичного перекрытия и открытия потока расплавленных веществ в трубопроводе
Номер патента: 385117
Опубликовано: 01.01.1973
Автор: Крутько
МПК: F16L 53/00, F16L 55/103
Метки: веществ, герметичного, открытия, перекрытия, потока, расплавленных, трубопроводе
...с об кристачлизовавш сгва, а отирываю вом с расплавле азованием прооки из загося,перекачиваемого вешет - резким месгным нагреием пробки. редмет изобр етени ытня н оторыеств в грубоо, с целью упсти герметиза тавленном соой этого везком местном эким местным Известен способ перекрытия потока высокотемперавурной среды в разъемных соединениях врубопроводной арматуры путем пайщики.Для его реализации используют уплотняющий и уплотняемый элементы арматуры из материалов с различными температурами плавлениякоторые спаивают в состоянии эвтектгоки в результате диффузионных процессов при,перекрытии потока и распаивают.Целью изобретения являегся упрощение способа пережрытия потока и повышение надежности герметизации.Для этого в качестве материала...
Устройство для переключения потока взрывчатых веществ
Номер патента: 995579
Опубликовано: 27.09.1996
Автор: Чистосердов
МПК: F42D 1/16
Метки: веществ, взрывчатых, переключения, потока
Устройство для переключения потока взрывчатых веществ, включающее корпус с верхней и нижней крышками, входной и выходные патрубки и подвижный кран, расположенный внутри корпуса между входным и выходными патрубками, отличающееся тем, что, с целью повышения безопасности и надежности в работе, а также обеспечения дистанционного управления, подвижный кран выполнен в виде перекидного патрубка, закрепленного в эластичной муфте со стороны входного патрубка и снабжен пневмоцилиндром с возвратной пружиной, при этом шток пневмоцилиндра шарнирно соединен с перекидным патрубком, а возвратная пружина размещена между корпусом устройства и поршнем пневмоцилиндра.
Устройство для измерения скорости и направления потока
Номер патента: 531082
Опубликовано: 05.10.1976
Авторы: Бернадский, Засухин
МПК: G01P 5/12
Метки: направления, потока, скорости
...напряжения и усилитель постоянного тока, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения диапазона компенсации изменений температуры среды, в него введен термостабилизированный транзистор, подключенный через эмиттерную цепь Составитель И. Евсеевактор О, Филиппова Техред А, Демьянова Корре Куприяно аказ 539ЦНИ/164 Тираж 1029 ПИ Государственного комите по делам изобрете 113035, Москва, Ж, Подписноета Совета Министроний и открытийРаушская набд, 4/ СССР илиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 3531082 4 изобретения и один из термочувствительных элементовк одному плечу измерительного моста, а через коллекторную цепь - к другому термочувствительному элементу и измерительнойбдиагонали моста.Источники информации,...
Предыдущий патент: Способ азотирования титановых сплавов
Следующий патент: Расплав для очистки поверхности металлов
Случайный патент: Способ получения сернистого газа