Способ измерения напряжения инверсии мдп-структур

Номер патента: 1464810

Авторы: Апанасенко, Гурский, Покрышкин, Сигалов

ZIP архив

Описание

Способ измерения напряжения инверсии МДП-структур, включающий подачу на МДП-структуру линейно изменяющегося напряжения смещения, высокочастотного измерительного напряжения, выделение напряжения, пропорционального емкости МДП-структуры, дифференцирование этого напряжения, измерение величины производной, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения напряжения инверсии, напряжение смещения изменяют со скоростью 101-10 3 В/с, периодически выдерживают его на постоянном уровне, осуществляя в эти моменты дифференцирование, а напряжение инверсии определяют по напряжению смещения, при котором производная становится больше нуля.

Заявка

4262839/25, 15.06.1987

Физико-технический институт АН БССР

Гурский Л. И, Сигалов Б. Л, Покрышкин А. И, Апанасенко В. П

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: инверсии, мдп-структур

Опубликовано: 27.05.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1464810-sposob-izmereniya-napryazheniya-inversii-mdp-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения напряжения инверсии мдп-структур</a>

Похожие патенты