Способ изготовления полупроводниковых чувствительных элементов датчиков

Номер патента: 1326102

Авторы: Буланов, Михайлов

ZIP архив

Описание

Способ изготовления полупроводниковых чувствительных элементов датчиков, заключающийся в формировании тензорезисторов, тонкопленочных проводников и контактных площадок и утоньшении кристаллов путем травления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления, уменьшения трудоемкости и увеличения выхода годных, после формирования схемы пластину со стороны тензосхемы закрывают промежуточным слоем адгезионного материала типа полимерного лака, не доходящем до края пластины от 3 до 5 мм, после чего на указанный слой наносят слой кислотощелочестойкого герметизирующего компаунда, перекрывающего слой адгезионного материала, и проводят травление в щелочном или кислотном травителе до образования необходимой перемычки.

Заявка

3982492/25, 17.10.1985

Буланов В. И, Михайлов П. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/18

Метки: датчиков, полупроводниковых, чувствительных, элементов

Опубликовано: 27.04.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1326102-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovykh-chuvstvitelnykh-ehlementov-datchikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковых чувствительных элементов датчиков</a>

Похожие патенты