Способ изготовления локальных металлических зон

Номер патента: 1181461

Авторы: Даровский, Лозовский, Майстренко, Скоков

ZIP архив

Описание

1. Способ изготовления локальных металлических зон для зонной перекристаллизации в поле температурного градиента, включающий нанесение на поверхность кремниевой подложки защитного слоя, вскрытие в нем окон, приведение подложки в контакт с жидким металлом - растворителем и удаление жидкой фазы с поверхности защитного слоя, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и улучшения качества зон за счет повышения их однородности и уменьшения потерь летучих компонентов, изготавливают окна в защитном слое шириной 4,5·10-4 ÷ 4·10-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 670-1200°C в течение 0,01 ÷ 10 с.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при изготовлении кремнийалюминиевых зон с содержанием алюминия 17, 4 - 40 мас.% изготавливают окна в защитном слое шириной 10-3 ÷ 4·10-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 670-900°C в течение 0,01 - 1,05 с.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при изготовлении кремнийолово-сурьмяных зон с содержанием сурьмы 15 - 20 мас.% изготавливают окна в защитном слое шириной 4,5·10-4 ÷ 2,5·10-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 900 - 1200°C в течение 0,3 - 10 с.

Заявка

3700944/25, 16.02.1984

Краснодарское отделение с опытным производством Всесоюзного научно-исследовательского института тока

Майстренко В. Г, Лозовский В. Н, Скоков Ю. В, Даровский Н. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/208

Метки: зон, локальных, металлических

Опубликовано: 27.04.2006

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1181461-sposob-izgotovleniya-lokalnykh-metallicheskikh-zon.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления локальных металлических зон</a>

Похожие патенты