Способ изготовления силовых полупроводниковых приборов

Номер патента: 1616429

Авторы: Дерменжи, Кондаков, Почуева, Шмелев

Описание

Способ изготовления силовых полупроводниковых приборов, включающий формирование в полупроводниковой подложке базовой области, создание в базовой области дискретных областей эмиттерных элементов, формирование первого слоя металлизации на поверхности базовой области и областей эмиттерных элементов, выявление неработоспособных эмиттерных элементов, нанесение изолирующего покрытия, закрепление на поверхности подложки с помощью магнитной кассеты маски с окнами над эмиттерными элементами и создание второго слоя металлизации путем напыления металла в окна маски, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных и снижение трудоемкости, изолирующее покрытие после выявления неработоспособных эмиттерных элементов наносят на всю поверхность подложки, после закрепления на поверхности подложки маски с окнами над эмиттерными элементами закрывают в ней окна над неработоспособными эмиттерными элементами экранами из магнитопроницаемого материала, а затем путем плазмохимического травления удаляют в открытых окнах маски изолирующее покрытие и напылением в них металла создают второй слой металлизации.

Заявка

4695468/25, 26.05.1989

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Дерменжи П. Г, Шмелев В. В, Кондаков М. И, Почуева Н. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/28

Метки: полупроводниковых, приборов, силовых

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1616429-sposob-izgotovleniya-silovykh-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления силовых полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты