Способ легирования кремниевых пластин
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание



Заявка
4221811/25, 06.04.1987
Коршунов А. Б, Генералов Н. А, Зимаков В. П, Зыканова И. В, Соловьев Н. Г, Авдеев В. Б, Верин В. М, Гаськов А. М, Гласко В. Б, Губарь А. Ю, Сарайкин В. В, Старикова Л. Е, Соколов В. И, Тимашева Т. П, Петровнин Н. М, Шестериков С. А, Щербина С. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/268
Метки: кремниевых, легирования, пластин
Опубликовано: 20.09.2001
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1531757-sposob-legirovaniya-kremnievykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ легирования кремниевых пластин</a>
Предыдущий патент: Способ легирования кремниевых пластин
Следующий патент: Способ очистки бутадиена от алленовых и ацетиленовых углеводородов
Случайный патент: Обратный клапан компрессора