Описание

Способ легирования кремниевых пластин, включающий имплантацию в них ионов бора с энергией 30 - 60 кэВ и электрическую активацию бора последующим нагревом облучением импульсами света, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет получения поверхностной концентрации свободных носителей заряда, превышающей дозу имплантации, при одновременном снижении энергозатрат, нагрев осуществляют на воздухе импульсами света длительностью 2,5 10-3 - 10 с, при этом число импульсов и их энергетические параметры выбирают из условия обеспечения температуры T имплантированного слоя 900oC T < T. пл. II, где T.пл.II - температура разложения тетраборида кремния, а дозу имплантации устанавливают не более 1 1015 см-2.

Заявка

4221811/25, 06.04.1987

Коршунов А. Б, Генералов Н. А, Зимаков В. П, Зыканова И. В, Соловьев Н. Г, Авдеев В. Б, Верин В. М, Гаськов А. М, Гласко В. Б, Губарь А. Ю, Сарайкин В. В, Старикова Л. Е, Соколов В. И, Тимашева Т. П, Петровнин Н. М, Шестериков С. А, Щербина С. М

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: кремниевых, легирования, пластин

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1531757-sposob-legirovaniya-kremnievykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ легирования кремниевых пластин</a>

Похожие патенты