Номер патента: 1409076

Авторы: Жильцов, Сивак

Формула

МОЩНЫЙ ПЛАНАРНЫЙ ТРАНЗИСТОР, содержащий области эмиттера, базы и коллектора, диффузионные растворы, соединенные с эмиттерной областью, диэлектрическое покрытие с контактными окнами к соответствующим областям и контакты к ним, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем повышения стабильности тока, контакт, соединяющий резистивную область с эмиттерной, снабжен дополнительным участком, расположенным на диэлектрическом покрытии над областью резистора.

Описание

Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике, в частности к мощным планарным транзисторам, работающим в ВЧ- и СВЧ-диапазонах.
Целью изобретения является повышение надежности путем повышения стабильности тока транзистора.
На фиг. 1 и 2 представлены варианты планарного транзистора.
Мощный планарный транзистор содержит подложку-коллектор 1, например, n-типа проводимости, в которой выполнены область базы 2 p-типа проводимости с высоколегированной периферийной областью 3 и диффузионный резистор 4 того же типа. В пределах области базы 2 создана область эмиттера 5 n-типа проводимости. На поверхности структуры имеется диэлектрическое покрытие 6, в котором образованы окна для создания контакта к областям базы 2, эмиттера 5 и к диффузионному резистору 4. Через окна образованы металлический электрод 7 к базе, электрод 8 к эмиттеру 5, совмещенный с первым электродом к резистору 4, и второй электрод 9 к резистору 4.
На фиг. 2 - второй вариант, в котором электроды 8 и 9 выполнены к периферийной области 10 диффузионного резистора 4. Глубина областей 10 должна быть не менее глубины залегания коллекторного перехода. Такое выполнение транзисторной структуры обеспечивает более высокие пробивные напряжения диффузионного резистора, а также низкие значения контактного сопротивления металл - полупроводник.
При работе транзистора в активном режиме в случае возрастания тока через один из эмиттеров увеличивается падение напряжения на диффузионном резисторе 4, включенном последовательно с этим эмиттером. Одновременно растет и номинал резистора вследствие обеднения приповерхностного слоя диффузионного резистора из-за возрастания потенциала электрода 8, что ведет к резко нелинейному увеличению падения напряжения на резисторе 4 и снижению тока, протекающего через эми
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению мощных планарных транзисторов, работающих в ВЧ- и СВЧ-диапазонах. Целью изобретения является повышение надежности путем управления стабилизацией тока. Мощный планарный транзистор содержит коллектор-подложку, область базы с высоколегированной периферийной областью, область эмиттера, диффузионные резисторы, диэлектрическое покрытие с контактными окнами к соответствующим областям и контактную металлизацию. Диффузионные резисторы соединены с эмиттерной металлизацией, распространенной по диэлектрическому покрытию над резисторами. 2 ил.

Рисунки

Заявка

4005826/25, 08.01.1986

Жильцов В. И, Сивак В. М

МПК / Метки

МПК: H01L 29/73

Метки: мощный, планарный, транзистор

Опубликовано: 30.10.1994

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1409076-moshhnyjj-planarnyjj-tranzistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Мощный планарный транзистор</a>

Похожие патенты