Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла

Номер патента: 1144566

Авторы: Берлин, Колоскова, Нисневич, Попова, Почуева

Описание

Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла на поверхности кремниевой пластины, включающий осаждение пленки по всей площади пластины, формирование на пленке маски из фоторезиста, травление пленки при температуре 15 - 30oC в водном растворе фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и ортофосфорной кислоты и удаление фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества рисунка пленок алюмосиликатного стекла толщиной 0,3 - 1,5 мкм при содержании в нем окисла алюминия 7 - 70 мас.%, травление проводят при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:
Фтористый аммоний - 13 - 18
Фтористоводородная кислота 49o - 4 - 7
Ортофосфорная кислота 70o - 42 - 62
Вода - 21 - 33

Заявка

3652487/25, 17.10.1983

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Берлин Г. В, Колоскова Л. Н, Нисневич Я. Д, Попова Л. А, Почуева Н. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/316

Метки: алюмосиликатного, локальных, пленок, создания, стекла

Опубликовано: 20.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1144566-sposob-sozdaniya-lokalnykh-plenok-alyumosilikatnogo-stekla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла</a>

Похожие патенты