Способ получения легированного кремния

Номер патента: 1005511

Автор: Забродский

Описание

Способ получения легированного кремния путем выращивания его, облучения медленными нейтронами и отжига, отличающийся тем, что, с целью получения материала n- или p-типа проводимости с заданной степенью компенсации, в кремний в процессе выращивания вводят германий, атомарную долю которого x определяют из соотношения

где К - заданная степень компенсации полученного материала;
КGe - степень компенсации нейтронно легированного германия;
m = -1 или +1 соответственно в материале n- или p-типа проводимости;
- содержание изотопов Si30 и Ge70 в природной смеси изотопов Si и Ge;
- средние сечения поглощения тепловых нейтронов изотопами Si30 и Ge70.

Заявка

3317200/26, 17.07.1981

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

Забродский А. Г

МПК / Метки

МПК: C30B 29/06, C30B 31/20

Метки: кремния, легированного

Опубликовано: 10.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1005511-sposob-polucheniya-legirovannogo-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения легированного кремния</a>

Похожие патенты