Воробкало

Номер патента: 1100959

Опубликовано: 23.10.1989

Авторы: Беда, Вайнберг, Воробкало, Зарубин

МПК: C30B 31/20, H01L 21/263

Метки: германия, легированного, ядерно

...долю тепловых нейт ,ронов пучка, поглощенную материалом экрана, по формулею- ехр(-Яс), (3) где Я - коэффициент поглощения тепловых нейтронов материалом чехла, д - 25 толщина стенки. Жесткость спектра нейтронов, прошедших через стенку чехла, равна ф Г ф Йф 4 -а. к .ай л т - - --- т Фф фг (Я ) ехр (-1 Й) где ; - .жесткость спектра при облучении без чехла,фр гт ( )ф цПри облучении германия естественного изотопного состава в пучке нейтронов с жесткостью спектра, равной 1",. получается полупроводник р-типа со степенью компенсации, равной 407 лЪ 1 ЙФ+Е )+2 Ра(Ь Фх+Е 31мРр (6 Д+ Е-Рр ) (5)Подставляя в (5) Рр = фт и учитывая, что 45 На фиг. 1 показана зависимость степени компенсации К от жесткости спект" ра нейтронов 3" (кривая 1); на...

Номер патента: 799523

Опубликовано: 30.12.1981

Авторы: Воробкало, Забродский, Зарубин, Ионов, Немиш, Шлимак

МПК: C30B 31/20

Метки: германия, легированного

...материал р-тяпа с большей степенью компенсации или даже материал п-типа, Исходя из изютопного состава естественного элемента гврмания,и сечений реакций Ц, можно рассчитать, что требуемый материал р-типа с К=90% получится в том случае, если, вырастить кристалл германия, состоящий на 63% аз естественного бе и:на 37% - от.изотопа 74(еВ этом материале изотюла 7 обе, дающего основную вримвсь, будет мвньше (21,2% 0,63=13,3%), так чтю .гребуемая коюцентрация (10" см - ) будет достигнута при большей дозе облучения (5,2 10 исм .Таким образом, предложенный способ позволяет получать новые аюлупрювюдниковые,материалы, обладающие однородным ,расп,ределвюием лримесей и в то же время с необходимыми аарамецрами: типом вро,водимости,...

Номер патента: 782609

Опубликовано: 15.09.1981

Авторы: Воробкало, Забродский, Зарубин, Немиш, Шлимак

МПК: G01K 7/22

Метки: германиевых, термосопротивлений

...паралйейьйый т,е. однотипных кри 3 78лецными нейтронами (2). В результатеядерных реакций изотопов германия снейтронами образуются электрическиактивные примеси; мелкий акцептор Самелкий донор Аь, двухраэрядный донор5 е, причем концентрации вводимыхпримесей й в см 3 выражаютсй простыми соотношениямиНС - 3 ф 16 1 б ф; ИААФ = 1,03 10 фбаАбх 0 12510 Фгде 4- доза нейтронов в н см . Поскольку коэффициент поглощения медленных нейтронов в германии мал (примерно 0,1 см-), поглощение нейтроновпройсходит весьма равномерно, а точ ноСть легирования зависит от дозы(произведения потока на время экспозиции ).(После облучения дозой нейтроновф = ( 2, 6-4, 0 ) 10 8 см " получают германий Р -типа с постоянной степенью ком пенсации К = 0,4 и с...

Номер патента: 654662

Опубликовано: 30.03.1979

Авторы: Воробкало, Горюк, Губа, Малютенко, Огенко, Тертых, Хабер, Чуйко

МПК: C09G 1/02

Метки: композиция, полирования, полупроводниковых, химико-механического

...в процессе полировки образуются царапины и дефекты структуры, а качество обработки поверхности ухудшается.Присутствие щелочного травителя приводит к образованию на поверхности водонерастворимых окислов и загрязнению поверхности полупроводников ионами калия, что приводит к ухудшени 1 о электрофизических свойств полированной поверхности.Цель изобретения - улучшение структурных и электрофизпческпх характеристик полированной поверхности.Достигается это тем, что предлагаемаякомпозиция содержит аэросил, модифицированный многоатомным спиртом, в качестве травителя - 40/о-ную молочную кислоту и 90%-ную азотную кислоту, в качестве много атомного спирта - этиленгликоль или диэтиленгликоль при следующем соотношении компонентов, вес. %;Аэросил,...

Номер патента: 597260

Опубликовано: 25.10.1978

Авторы: Воробкало, Забродский, Зарубин, Немиш, Шлимак

МПК: G01K 7/16

Метки: германиевых, низких, температур, термосопротивлений

...10см"облуцяют медЛЕЦЕЕЕ)ХМИ Е 1 ЕЙТРОНЯМИ )ЛЦТЕГРтЬНХ)М 1 ОТО 1)комот 4,7 10 до 6,0 10" цсм , Взависимости От исходной концентрации ло 55норов и дозы облучения можно полуИтьгерманий с различным соотцоецецием концентраций доцорцой и акцепторной приме=СЕЙ) т, Е, С РЯЭЛИЧЦОЙ СТЕПЕНЬЮ КОЬ 4 Т 1 РЦСацИ КЯК т -" ТЯК ИТИПВ, П)т)ВОЕХИМОС)И, .ХО )5)ДЕ)55 ЕТ Ы)ИРОК Ва;)ЬИРОВВтЬ ВЕ)ЕЕ)цт)еаУРНОЙ ЗЯВЕЕСИМЕ,." И УД тпт ЦО) тт11)О) Ив)Еттця И ц)Гт. Ь т Е) ) 16)ти) С Г)ПТИ)ДЯЛЬЦЫМИ ",ЯРЯКТЕ)ИСХИКЯ.И ДЛЛ НУЖНОГО11 иапазтЦ 3 ТЕ.ъ)ХЕ 6 У),НижниЙ предел концептации доноровв сходном германии (лр =1 10 смте, т 7Вьбет)аеЕся при налит) ии ке 1 Ял)хитесойпрове)димости в исхОднОм Германии, Ь.рхций пре;е) к;)1 Нецт)Яции 11 оцоров(М-) =1 10 см ) Ограничен тем,...