Горюк
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1751224
Опубликовано: 30.07.1992
Авторы: Борисенко, Горюк, Деркач, Саенко
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
...схем,Целью изобретения является расширение технологических, возможностей за счет повышения равномерности покрытий при обработке больших поверхностей.На чертеже схематически представлена конструкция устройства для нанесения покрытий.Устройство состоит из водоохлаждаемаго тигля-анода 1, пряманакального вольников электропитания 9 - 11.Устройство для нанесения паботает следующим образом,Испаряемое вещества загругель-анод 1, от источника 11 вклкал катода 2, с помощью соленосоздается магнитное поле в абланых электродов, затем подаетсние на вспомогательныйэлектрод 6 ат источника 9, Приисточника питания 10 зажигаетспарах исларяемага вещества, прСоставитель С.Мирошкивыдкая;, Техред М.Моргентал1 Кравчук Редактор ект аказ 2666 , Тираж...
Композиция для химико-механического полирования полупроводниковых материалов
Номер патента: 654662
Опубликовано: 30.03.1979
Авторы: Воробкало, Горюк, Губа, Малютенко, Огенко, Тертых, Хабер, Чуйко
МПК: C09G 1/02
Метки: композиция, полирования, полупроводниковых, химико-механического
...в процессе полировки образуются царапины и дефекты структуры, а качество обработки поверхности ухудшается.Присутствие щелочного травителя приводит к образованию на поверхности водонерастворимых окислов и загрязнению поверхности полупроводников ионами калия, что приводит к ухудшени 1 о электрофизических свойств полированной поверхности.Цель изобретения - улучшение структурных и электрофизпческпх характеристик полированной поверхности.Достигается это тем, что предлагаемаякомпозиция содержит аэросил, модифицированный многоатомным спиртом, в качестве травителя - 40/о-ную молочную кислоту и 90%-ную азотную кислоту, в качестве много атомного спирта - этиленгликоль или диэтиленгликоль при следующем соотношении компонентов, вес. %;Аэросил,...