Горюк

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 1751224

Опубликовано: 30.07.1992

Авторы: Борисенко, Горюк, Деркач, Саенко

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...схем,Целью изобретения является расширение технологических, возможностей за счет повышения равномерности покрытий при обработке больших поверхностей.На чертеже схематически представлена конструкция устройства для нанесения покрытий.Устройство состоит из водоохлаждаемаго тигля-анода 1, пряманакального вольников электропитания 9 - 11.Устройство для нанесения паботает следующим образом,Испаряемое вещества загругель-анод 1, от источника 11 вклкал катода 2, с помощью соленосоздается магнитное поле в абланых электродов, затем подаетсние на вспомогательныйэлектрод 6 ат источника 9, Приисточника питания 10 зажигаетспарах исларяемага вещества, прСоставитель С.Мирошкивыдкая;, Техред М.Моргентал1 Кравчук Редактор ект аказ 2666 , Тираж...

Композиция для химико-механического полирования полупроводниковых материалов

Загрузка...

Номер патента: 654662

Опубликовано: 30.03.1979

Авторы: Воробкало, Горюк, Губа, Малютенко, Огенко, Тертых, Хабер, Чуйко

МПК: C09G 1/02

Метки: композиция, полирования, полупроводниковых, химико-механического

...в процессе полировки образуются царапины и дефекты структуры, а качество обработки поверхности ухудшается.Присутствие щелочного травителя приводит к образованию на поверхности водонерастворимых окислов и загрязнению поверхности полупроводников ионами калия, что приводит к ухудшени 1 о электрофизических свойств полированной поверхности.Цель изобретения - улучшение структурных и электрофизпческпх характеристик полированной поверхности.Достигается это тем, что предлагаемаякомпозиция содержит аэросил, модифицированный многоатомным спиртом, в качестве травителя - 40/о-ную молочную кислоту и 90%-ную азотную кислоту, в качестве много атомного спирта - этиленгликоль или диэтиленгликоль при следующем соотношении компонентов, вес. %;Аэросил,...