Сонов

Способ изготовления больших интегральных схем на мдп транзисторах

Загрузка...

Номер патента: 670019

Опубликовано: 30.11.1985

Авторы: Булгаков, Выгловский, Лебедев, Сонов

МПК: H01L 21/82

Метки: больших, интегральных, мдп, схем, транзисторах

...6 методомфотолитографии. Слой реэиста 6 покрывает активные области и служит маской при последующей ионной имплантации бором. Ионную имплантацию проводят при энергии ионов бора 100 кэВпри дозе 2 мкКул/см. При этом нанеактивных областях поверхности кремния образуется область 7 с повышенной концентрацией бора, который предотвращает образование инверсионных 9 2областей между диффузионными шинамии увеличивает пороговое напряжениепаразитных транзисторов. Затем снимают окисел 5 с нитрида кремния 2 надобластями 7. Травление окисла происходит в буферном травителе в течение 2-2,5 мин, Далее снимают фоторезист в серно-перекисной смеси истравливается нитрид кремния 1 надобластями 7. Травление происходитв ортофосфорной кислоте при температуре 140 фС...

Устройство для обмена информацией

Загрузка...

Номер патента: 741257

Опубликовано: 15.06.1980

Авторы: Авдеев, Антонишкис, Булгаков, Еремин, Макаревич, Сонов, Черников

МПК: G06F 3/04

Метки: информацией, обмена

...окончания работы решающих блоков в регистрах блока 4 хранятся результаты их решения.В первом режиме со стороны ЦВМ осуществляется ввод в регистры блока 4 начальных значений через информационную часть буферного регистра 10, регистр 13 и преобразователь 14. Предварительно перед подачей информационного слова из ЦВМ через адресную часть буферного регистра 9 в счетчик 7 передается код адреса, в соответствии с которым сигналом с выхода дешифратора 11 разрешается занесение информационного слбва в требуемый регистр блока 4. Форматы информационного и адресного слова состоят из управляющей и соответственно информационной и адресной частейПо коду управляюшей части буферного регистра 10 блок 1 разрешает занесение информационного слова в регистр 13,...

Программируемое запоминающее устройство

Загрузка...

Номер патента: 736170

Опубликовано: 25.05.1980

Авторы: Авдеев, Антонишкис, Булгаков, Еремин, Макаревич, Сонов, Хорошунов

МПК: G11C 15/00

Метки: запоминающее, программируемое

...26 кода операцииинформационный и управляющий выходыкоторого подключены .соответственнок четвертому информационному и управляющему входам блока памяти,ЗО 40 Работа з апоминающего устройствапроисходит в двух режимах: в режимеввода (нывода) программ коммутациив соответствующие блоки 1 -1 памяИти со стороны ИВМ 16 и в режиме работы решающих блоков 71 - 7, когдапроисходит последовательное под-.ключение блоков памяти через коммутатор 2 ввода и коммутатор 3 выводако входам и выходам решающих блоков 7 - 7 щ.В первом режиме иэ ПВМ 16 черезблок 13 сопряжения, буферный блок12 памяти осуществляется ввод в требуемый блок 1 памяти кодов, составляющих программу коммутации выходов ивходов решающих блоков 7 -7 Форматкодов программы коммутации...

Коммутатор

Загрузка...

Номер патента: 711683

Опубликовано: 25.01.1980

Авторы: Булгаков, Денисенко, Еремин, Макаревич, Сонов, Хорошков

МПК: H03K 17/02

Метки: коммутатор

...контроль коммутатора на отсутствие ложных сигналов поиска и вьщеления. Для этого на шину установки 3 подаетсянулевой, а на шину контроля 10 единичныйлогические уровни.Элементы И-НЕ 1 и ИЛИ - НЕ 9 вводят сигналы поиска и выделения, Одновременно с помощью элементов ИЛИ 16, И-НЕ 5 производит.ся опрос цщн вывода сигнала поиска 19 и вво.да сигнала выделения 17, В исправном состоянии на цих должны удерживаться нулевые ло.гичсские уровни. В случае присутствия хотя бына одной из них ложного сигнала (единичногологического уровня) через элементы ИЛИ 16и И 15 триггер 12, устанавливаясь в нулевоесостояние, запрещает элсмецтам ИЛИ - НЕ 13и И - НЕ 11 соответственно выводить сигналпоиска и вводить сигнал выделения, т. с. исключает устройство из...

Способ дозирования диффузанта

Загрузка...

Номер патента: 357479

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Афанасьев, Иванов, Ремизов, Сонов, Сосина

МПК: G01F 11/28

Метки: диффузанта, дозирования

...площадиподбирают расхполного захватателя.Предм к технике дозировата в его парах, по- диффузии из жидкости в полупроводнимому охран колипо одим ны способы д иффузии, нап их источников лирования рас о через объем дозирование ния температу ученных проп ъем жидкого о ературе. Эти но просто ос диффузанта, озирования диффузанример, бора и фосфора ВВгз, РС 1 з и РОС 1 з пухода газоносителя, про с жидким диффузанордоранта, путем реры его насыщенных паусканием газоносителя рдоранта при повышен способы не позволяют уществить точное дозиет изобретен Способ дозир ный на перенос проходящим че тем, что, с цель хранении точно количество диф поверхности ис газоносителя из диффузанта из ования диффузанта, основане его паров газоносителем, рез...