Патенты с меткой «диффузанта»

Номер патента: 357479

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Афанасьев, Иванов, Ремизов, Сонов, Сосина

МПК: G01F 11/28

Метки: диффузанта, дозирования

...площадиподбирают расхполного захватателя.Предм к технике дозировата в его парах, по- диффузии из жидкости в полупроводнимому охран колипо одим ны способы д иффузии, нап их источников лирования рас о через объем дозирование ния температу ученных проп ъем жидкого о ературе. Эти но просто ос диффузанта, озирования диффузанример, бора и фосфора ВВгз, РС 1 з и РОС 1 з пухода газоносителя, про с жидким диффузанордоранта, путем реры его насыщенных паусканием газоносителя рдоранта при повышен способы не позволяют уществить точное дозиет изобретен Способ дозир ный на перенос проходящим че тем, что, с цель хранении точно количество диф поверхности ис газоносителя из диффузанта из ования диффузанта, основане его паров газоносителем, рез...

Номер патента: 1067000

Опубликовано: 15.01.1984

Авторы: Корчков, Мартынова

МПК: C07F 7/21

Метки: винилстибинсилсесквиоксан, действию, диффузанта, источника, качестве, облучения, сурьмы, чувствительного, электронного

...в течение двух часов,охлаждают и выдерживают при 0 С ещев течение 30 ч. Выпавший осадок отфильтровывают, сушат на воздухе иподвергают очистке, аналогично примеру 1.Выход составляет 4,2 г (20 отзагРузки)25Найдено,В: С 24,00 у Н. 3,0.81Яз. 28,08 у ЯЬ 17,50 у Сй О,ОС,Н,) Я 1 ЯЬО 1 30 Полученную после экспонирования и проявления защитную маску подвергают отжигу в диффузионной печи при 400-600 фС в течение 0,5-3 ч. На полученных структурах снимают вольт-амПерные характеристики (ВАХ) . Анализ ВАХ показывает, что они имеют веитильный характер, что свидетельствует о диффузии сурьмы в поверхность кремниевой подложки, Оцененная по СН Я 11 ЯЬОВычислено,Ф: С 24,04; Н 3,00;Я 1 28,05 У ЯЪ 17,401 СВ О.МВ (определенный масс-спехтрометрически) 700, МВ...