Способ дозирования диффузанта

Номер патента: 357479

Авторы: Афанасьев, Иванов, Ремизов, Сонов, Сосина

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельств б 011 11/2 аявлено 09.Ч 1.1971 ( 1670618 присоединением заявкиКомитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССР, Г. В. Сон аявител СПОСОБ ДОЗИРОВАНИЯ ДИФФУЗАНТА 1Изобретение относится ния количества диффуза лучаемых в процессе его го диффузанта, в частно ковой промышленности. По предлагаепроцесса при сния регулируютнением площадиподбирают расхполного захватателя.Предм к технике дозировата в его парах, по- диффузии из жидкости в полупроводнимому охран колипо одим ны способы д иффузии, нап их источников лирования рас о через объем дозирование ния температу ученных проп ъем жидкого о ературе. Эти но просто ос диффузанта, озирования диффузанример, бора и фосфора ВВгз, РС 1 з и РОС 1 з пухода газоносителя, про с жидким диффузанордоранта, путем реры его насыщенных паусканием газоносителя рдоранта при повышен способы не позволяют уществить точное дозиет изобретен Способ дозир ный на перенос проходящим че тем, что, с цель хранении точно количество диф поверхности ис газоносителя из диффузанта из ования диффузанта, основане его паров газоносителем, рез испаритель, отличающийся ю упрощения процесса при сости дозирования, регулируют фузанта изменением площади парения и подбирают расходусловия полного захвата им испарителя. Извест та при д из жидк тем регу ходя щег том, или гулирова ров, пол через об ной темп достаточ рование способу для упрощения нии точности дозироваество диффузанта измеерхности испарения и азоносителя из условия диффузанта из испари

Смотреть

Заявка

1670618

Г. Г. Афанасьев, В. Д. Иванов, Б. В. Ремизов, Г. В. Сонов, Э. П. Сосина

МПК / Метки

МПК: G01F 11/28

Метки: диффузанта, дозирования

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-357479-sposob-dozirovaniya-diffuzanta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ дозирования диффузанта</a>

Похожие патенты