277964
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 277964ИЗОБРЕТЕН ИяК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистических Республиква. свидетель висимое от аявлено 24,1 Х,1966 ( 1104 6-25 л. 21 д, 21/12 заявкис присоединение Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Мииистров СССР,Х 1,197 вторызобретения идоренко, В. М. Гусев, А, В, Чувпило, В, В, Титов, А, К. Зайцева,Н, Гребешев, Р. Г, Адамян, Е. Г. Жуков, Н, Я. Липинецкийи В. В, Заддэ сесовзный научно-исследовательский институт источников тока и Институт атомной энергии имени И, В, Курчатовааявители ТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТК ТАЛЕЙ ИОННЫМ ПУЧКОМ вустордета е Известно устрсйство для обработки деталейионным пучком, состоящее из вакуумнои камеры, загрузочного окна с фланцем, узла подачи деталей и ионного источника.Особенностью предлагаемого устройства 5является выполнение узла подачи деталей ввиде натянутого между двумя барабанами непрерывного транспортера с шагом креплениядеталей, равным 1/4 длины делительной окружности барабана. Ионный источник снабжен 10двумя окнамн с дверцами, расположенными врабочем торце камеры по обе стороны транспортера.Это обеспечивает возможность д онней обработки большого количества л 5без нарушения вакуума,Устройство изсбражено па чертеже.С рабочей сторо:.ы герметичного корпуса /расположены два скна с дверцами 2 и Х Ькаждую дверцу вмонтирован зонд 4 для измерения ионного тока. Дверцы открываютсяповоротом рукоя-ок 5 и б. На тыльной стороне корпуса имеется загрузочное окно, закрываемое вакуухтньм фланцем 7, Транспортер 8,представляющий собой цепь (лепту), натянутую между звездочками 9 и 10, снабжен подвесками 11, на ксторых крепятся кассеты собрабатываемыми деталями. Шаг креплениядеталей равен 1/4 длины делительной окружности звездочки. Длина цепи и, следовательно, 30 количество кассет с деталями выбирают конструктивно, Максимальная длина цепи определяется продолжительностью работы источника ионов и механической надежностью конструкции.Работает устройство следующим образом.Транспортер Ь загружают через окно при периодическом егс перемещении. Загружать и разгружать устройство можно как до установки в вакуумыю камеру, так и непосредственно в камере,После загрузки вакуумный фланец закрывают и откачивают камеру до необходимого вакуума. После этого пучок ионов наводят па дверцу 2, устанавливают с помощью зонда 4 нужную плотность ионного тока, поворотом рукоятки 5 открывают дверцу, и пучок ионов попадает на кассету с обрабатываемыми деталями. По окончании обработки транспортер передвигается на один шаг, и облучению подвергается следующая кассета. Периодическое перемещение кассет с деталями происходит автоматически с заданным темпом. Для обработки обратной стороны образцов дверцу 2 закрывают, а дверцу 3 открывают.Описанная последовательность операций применяется в том случае, если требуется облучить лицевую сторону деталей ионами одного вещества, а тыльную сторону - ионами другого вещества. Если же требуется облучить277964 Предмет изобретения Составитель Н. В. Алимова Редактор Б. Б. Федотов Техред Л, Я. Левина Корректор О, И, Усоваказ 2239/9 Тираж 480 Подписное 1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж-зо, Раушская наб., д. 4/5Типография ВДНХ СС обе стороны деталей ионами одного и того жевещества, обе дверцы можно открыть одновременно. Устройство для обрасотки деталей ионным пучком, состоящее из вакуумной камеры, загрузочного окна с фланцем, узла подачи деталей и ионного источника, отличающееся тем,что, с целью обеспечения возможности двусторонней обработки большого количества деталей без нарушения вакуума, узел подачи деталей выполнен в виде натянутого между дву мя барабанами непрерь 1 вного транспортера сшагом крепления деталей, равным 1/4 длины делительной окружности барабана, а ионный источник снабжен двумя окнами с дверцами, расположенными в рабочем торце камеры по 1 О обе сторонь 1 транспортера,
СмотретьЗаявка
1104551
вители Всесоюзный научно исследовательский институт источников тока, Институт атомной энергии имени И. В. Курчатова
Н. С. Лидоренко, В. М. Гусев, А. В. Чувпило, В. В. Титов, А. К. Зайцева, Е. Н. Гребешев, Р.Г. Адам Е.Г. Жуков, Н. Я. Липинецкий, В. В. Заддэ
МПК / Метки
МПК: G21K 5/00, H01J 37/08
Метки: 277964
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-277964-277964.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">277964</a>