Патенты с меткой «277964»

Номер патента: 277964

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Адам, Гребешев, Гусев, Заддэ, Зайцева, Лидоренко, Липинецкий, Титов, Чувпило

МПК: G21K 5/00, H01J 37/08

Метки: 277964

...9 и 10, снабжен подвесками 11, на ксторых крепятся кассеты собрабатываемыми деталями. Шаг креплениядеталей равен 1/4 длины делительной окружности звездочки. Длина цепи и, следовательно, 30 количество кассет с деталями выбирают конструктивно, Максимальная длина цепи определяется продолжительностью работы источника ионов и механической надежностью конструкции.Работает устройство следующим образом.Транспортер Ь загружают через окно при периодическом егс перемещении. Загружать и разгружать устройство можно как до установки в вакуумыю камеру, так и непосредственно в камере,После загрузки вакуумный фланец закрывают и откачивают камеру до необходимого вакуума. После этого пучок ионов наводят па дверцу 2, устанавливают с помощью зонда 4...