Латута

Номер патента: 1114258

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Латута, Марончук, Носовский, Тузовский

МПК: H01L 21/324

Метки: кремниевых, подложек, термической

Способ термической обработки кремниевых подложек, включающий их нагрев в среде водорода в течение 1 - 4 ч, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества подложек за счет уменьшения плотности дефектов у рабочей поверхности подложек, на рабочую поверхность каждой подложки устанавливают пластину кварца или сапфира толщиной, в 2 - 4 раза большей толщины кремниевой подложки, и нагревают нерабочие стороны подложек до температуры 900 - 1200oC.

Номер патента: 1255274

Опубликовано: 07.09.1986

Авторы: Латута, Марков, Терлеева, Шулепко

МПК: B22C 3/00

Метки: графитовых, литейных, покрытия, формах

...так, чтобы к концу процесса довести пульсацию напряжения до 1007 Изменение пульсации напряжения меньше, чем через 10 В приводит к 1007.-ной пульсации раньше, чем закончится процесс, что приводит к сильному оплавлению и отслаиванию покрытия, а свыше 40 В невозможно достигнуть 1007-ной пульсации напряжения к концу процесса, что отрицательно сказывается на качестве покрытия.П р и м е р 1. На образец из графита наносят полимерную пленку из клея Бф-б, сушат и помещают в электролитическую ванну. В качестве электролита используют 107-ный раствор жидкого стекла (НаЯО ). Плотность тока на образце поддерживается постоянной и равной 1 А/дм и покрывают до напряжения 600 В. Вначале процесс ведут в режиме двухполупериодного выпрямления (режим...