H01J 27/14 — другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля

Номер патента: 865043

Опубликовано: 30.10.1991

Авторы: Васильев, Дмитриев, Ивановский, Маишев, Мурашко

МПК: H01J 27/14

Метки: ионов, источник, многоканальный

...ионов, ограниченной законом Ленгмюра, и в сложности его конструкции и эксплуатации, обусловленной,тем, что в точности изготовления и юстировке всех четырех электродов предъявляются жесткие требования в условиях, когда экстрактор и анодная пластина должны быть изолированы между собой и от двух пла стин, Кроме того, схема электрического питания ионного источника содержит, по крайней мере, два блока питания, причем блок питания разрядной камеры находится под потенциалом ускоряющего электрода, 10 что усложняет эксплуатацию ионного источника и уменьшает его надежность.Целью изобретения является увеличение плотности тока ионного пучка, упрощение конструкции источника и его 15 эксплуатации и повышение его надежности.Указанная цель...

Номер патента: 1210604

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Кубарев, Соловьев, Ташаев, Черник

МПК: H01J 27/14, H01J 27/16, H05H 1/24 ...

Метки: плазмы, ускоритель

УСКОРИТЕЛЬ ПЛАЗМЫ, содержащий разрядную камеру, образованную цилиндрическим анодом, имеющим на выходе форму сопла Лаваля, установленный внутри анода катод, систему формирования расходящегося магнитного поля и подачи рабочего газа, а также источник ускоряющего напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса и снижения примесей в потоке плазмы, в ускоритель введен СВЧ-генератор, подключенный к аноду и катоду, а размеры анода выбраны так, что разрядная камера представляет собой четвертьволновый коаксиальный резонатор с катодом в качестве центрального электрода.