Даукша

Номер патента: 1195329

Опубликовано: 30.11.1985

Авторы: Барадокас, Баракаускас, Даукша, Кудрявцев

МПК: G01B 11/24, G01D 13/02, G03C 5/29 ...

Метки: мер, процесса, проявления, растровых, шкал

...ул.Проектная,4 111Изобретение относится к фотолитографии, а именно к способам проявления, и может быть использовано при изготовлении прецизионных растровых шкалЦель изобретения - повышение точности контроля процесса проявления,На чертеже оказана структурно- функциональная схема устройства для осуществления способа.Устройство содержит лазер 1, кювету 2 с проявителем, в которой размещена заготовка 3 растровой меры, два фотоприемника 4, расположенные в направлении первого и более высокого порядка спектра, две схемы 5 поиска экстремумов и схему 6 совпадения.Предлагаемый способ реализуется следующим образом.В процессе проявления слоя фото-резиста, нанесенного на шкалу растровой меры, образуется фазовая реш 6 тка, на которой...

Номер патента: 872952

Опубликовано: 15.10.1981

Авторы: Герберене, Даукша, Ушинскас, Ьаракаускас

МПК: G01B 11/00

Метки: мер, растровых, фотошаблонов

...ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4 ИФилиал ПОП. "Ртент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4 К - накопленная погрешность 1-гоучастка матрицы;й - величина зазора,Сущность способа заключается в следующем. 5Всю матрицу разбивают на некоторое количество участков, измеряют среднюю величину накопленной погрешности К 1 на каждом 1-ом участке матрицы, считая среднюю накопленную пог ъ решность К 1 первого участка равной нулю. Затем устанавливают матрицу и ,заготовку с некоторым зазором й друг относительно друга. Экспонирование эат готовки осуществляют коллимированным 1 Б пучком света со стороны матрицы, начиная с первого участка. При этом угол падения пучка света на первый...

Номер патента: 571270

Опубликовано: 05.09.1977

Автор: Даукша

МПК: A61K 35/78

Метки: цитизина

...вцетэн Ъ ныйвммиак (90:10), этанол%-ный аммиак ( 90; 10),вмиповый спирт Ъ-ныяаммиак (90:5).Таким образом получают 23-24 л кислого извлечения, выход влколоидов на ствди:ЦНИИПИ Государствс.ссссо о комитета Совета Министров СССР по делам и;зобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 экстракции 96-97% от исходного количества алкалоидов в растительном сырье.Экстракт пропускают через батарею иэ 4 адсорберов, в каждый иэ которых помещают по 200 г катионита СД)3-3 в К+форме.б Кислую вытяжку пропускают через адсорбер со скростью 600 л/часс мК Экстракт, прошедший через первый адсорбер, пропускают через второй, и так через все 4 адсорбера. При достижении полноты насышессия...