Баракаускас

Номер патента: 1195329

Опубликовано: 30.11.1985

Авторы: Барадокас, Баракаускас, Даукша, Кудрявцев

МПК: G01B 11/24, G01D 13/02, G03C 5/29 ...

Метки: мер, процесса, проявления, растровых, шкал

...ул.Проектная,4 111Изобретение относится к фотолитографии, а именно к способам проявления, и может быть использовано при изготовлении прецизионных растровых шкалЦель изобретения - повышение точности контроля процесса проявления,На чертеже оказана структурно- функциональная схема устройства для осуществления способа.Устройство содержит лазер 1, кювету 2 с проявителем, в которой размещена заготовка 3 растровой меры, два фотоприемника 4, расположенные в направлении первого и более высокого порядка спектра, две схемы 5 поиска экстремумов и схему 6 совпадения.Предлагаемый способ реализуется следующим образом.В процессе проявления слоя фото-резиста, нанесенного на шкалу растровой меры, образуется фазовая реш 6 тка, на которой...

Номер патента: 1174741

Опубликовано: 23.08.1985

Авторы: Баракаускас, Стейкунас

МПК: G01B 11/00

Метки: параметров, размерных

...пары фотоприемников 6-9, ориентированных параллельно друг другу н установленных в плоскости изображения оптической системы на заданном расстоянии 8 30 относительно друг друга так, что оси симметрии, промежутков 10 и 11 между фотоприемниками каждой из пар фотоприемников 6-9 лежат на одной прямой, и блок обработки и регистрации. Блок обработки и регистрации содержит индикаторы 12 и 13 уравновешивания моста, ключ 14, элементы 15 и 16 перехода от симметричного выхода к несимметричному, компараторы. 17 и 18, формирователи 19-21 импульсов, логический элемент НЕ 22, счетчики 23-25 импульсов, резисторыК Ку К 1 и две пары клемм А и В питания мостов. 4 Устройство работает следующимобразом. Источник света освещает контролируемую растровую меру,...

Номер патента: 1052853

Опубликовано: 07.11.1983

Авторы: Баракаускас, Герберене, Кравченко, Ушинскас

МПК: G01B 11/00

Метки: измерительный, перемещений, угловых, фотоэлектрический

...одном из лимбов известного преобразователя нанесены без взаимногосдвига, а на другом - со сдвигомпо шагу одна относительно другой наполовину ширины штриха Г 2 3,Недостатком известных преобразователей является их невысокая тех Онологичность, большая трудоемкостьизготовления и, следовательно, высокая стоимость, Эти недостатки обусоловлены необходимостью нарезаниядвух матриц из высококачественных за готовок с тем же рисунком, что и на,рабочих лимбах, причем изготовлениекаждой матрицы ведется несколькосуток при повьыенных требованиях кпостоянству температуры помещения.Цель, изобретения - повышение технологичности и снижение стоимостипреобразователя за счет обеспечениявозможности использования одной матицы для печатания обоих...

Номер патента: 1013208

Опубликовано: 23.04.1983

Авторы: Баракаускас, Гинетис, Дирвялис, Ушинскас, Яскелявичус

МПК: B23Q 17/00

Метки: гравирования, кругового, радиальных, растра, резцом, штрихов

...в Основании 5.Сособ зяклюс(яется В слс (ую(це(5(.Из триго(Вметрических соотношений Выражают Основныс араметры грявируемого10 15 20 25 30 35 40 45 50 где В и Ь - максимальная ширина и высотагравируемого штриха соответственно;Ь - ширина штриха в узкой его части; сс - угол, на который нужно повернуть резец.Решая эти уравнения, получают величину заданного угла поворота резца а= агссов(1- Я(д Ч ) При развороте резца на угол А и перемещений его в радиальном направлении на величину 1 з получается конусообразный штрих,с максимальной шириной, равной ширине резца, и конусностью Ч. Для полного нарезания высоты штриха Ь требуется резцу пройти незначительное расстояние т которое располагается за пределами Ь. Для работы растра в...