Способ изготовления фотошаблонов растровых мер

) Авторы изобретен го научно орежущих ьнюсский иал Экспе нталь) Заявитель исследов а ского института м нко ОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ РАСТРОВЫХ 4) СПОСОБ осится к измерител т быть использован производстве, заня высокоточных асттение ке и м твенно об те- повышение точотошаблонов растп т участллимированток ма Наиболности ской перблизким по техниданному иэобрете вляпреимущес втом изготовлением р ровых мер.Известен способ изготовления фото 5 шаблонов растровых мер, заключающийся в том, что нарезают на делительной машине по металлизированному покрытию матрицу, которую используют за 10тем в качестве фотошаблона для изго-. товления рабочих растровых мер методом контактной фотопечати 03.Недостатками этого способа являются, сравнительно низкая точность из 15 готовления фотошаблонов, обусловленная кинематическими погрешностями дели- тельной машины, а также малый срок службы фотошаблонов, обусловленный хрупкостью растровой дорожки, нарезанной по металлиэированному покрыется способ изготовления фотошаблонов растровых мер, закпючащцийся в том, что заготовку, фотошаблона и матрицу устанавливают с равномерным зазором друг относительно друга и экспонируют заготовку со стороны матрицы коллимированным пучком светаГ 2).Недостатком данного способа является сравнительно низкая точность изготовления фотошаблонов, обусловленная тем, что все погрешности матрицы переносятся на изготавливаемый фотошаблон.Цель изобретения ности изготовления фровых мер.Цель достигается тем, чтооование заготовки осуществляюками, а угол паденияконого пучка света на 1-ый учарицы устанавливают равнымсЦ =агсйд (- + йдс 1)К 1где- угол падения пучкавый участок матрицы872952 Составитель О. ФоминРедактор Л. Копецкая Техред И;Ъадь Корректор М. Коста Заказ 9013/62 Тираж 645 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4 ИФилиал ПОП. "Ртент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4 К - накопленная погрешность 1-гоучастка матрицы;й - величина зазора,Сущность способа заключается в следующем. 5Всю матрицу разбивают на некоторое количество участков, измеряют среднюю величину накопленной погрешности К 1 на каждом 1-ом участке матрицы, считая среднюю накопленную пог ъ решность К 1 первого участка равной нулю. Затем устанавливают матрицу и ,заготовку с некоторым зазором й друг относительно друга. Экспонирование эат готовки осуществляют коллимированным 1 Б пучком света со стороны матрицы, начиная с первого участка. При этом угол падения пучка света на первый участок матрицы устанавлиют равным сЦ 1. Затем последовательно экспонируют остальные 20 участки матрицы, устанавливая угол падения е 1 колимированного пучка света на каждый 1"ый участок матрицы равным величине4 агсс 9 (+й 9 л). 1) ю 5,При этом накопленные ошибки 1 "го участка фотошаблона меньше накопленных ошибок 1-го участка матрицы на величину К (среднюю величину накопленной погрешности -го. участка матрицы),30 Когда фО, т.е. когда экспонирование заготовки на первом участке осуществляется пучком, падающим по нормалям к матрице, выражение для угла падения пучка света е 1, на 1-ый участок матрицы упрощается и принимает вид1 л егс 9-фТаким образом, экспонирование заготовкии участками с изменением углападения коллимированного пучка светана 1-ый участок матрицы в соответствии с выражением (1) позволяет повы- .сить точность изготовления фотошабдонов растровых мер.Формула изобретенияСпособ изготовления фотошаблоноврастровых мер, заключающийся в том,что эаготову фотошаблона и матрицу устанавливают с равномерным зазоромдруг относительно друга н экспонируютзаготовку со стороны матрицы коллимированным пучком света, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности изготовления фотошаблонов, экспонирование заготовки осуществляют участками, а угол падения сколлимированного пучка света на 1"ыйучасток матрицы устанавливают равнымЦ3,;= егсй 9(+ й 9)где - угол падения пучка на первыйучасток матрицы;К.- накопленная погрешность 1-гоучастка матрицы;С - величина зазора.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Фотоэлектрические преобразователи информации. Под.ред, Л.Н.Преснухина. М., "Машиностроение",1974, с. 316-320. 2. Введение в фотолитографию. Под ред. В, П, Лаврищева. М "сергия", 1977, с. 184 (прототип),