Способ контроля процесса проявления шкал растровых мер
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1195329
Авторы: Барадокас, Баракаускас, Даукша, Кудрявцев
Текст
НИ ВТОРСИОМЪГ С растра, ьклюцессе проявлене период ение в пр равна полов чающий осве ния растров актиничным световой эн и измерени злучен ичных поряде которой сурастра, о тргии в ра по велич е элементах спектра ят о разме лича щиися те точности контро целью по измеряют товой эн св начени болетремальн о гии в п проявленпадениятовой эн еУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Вильнюсский Филиал Экспериментального научно-исследовательскогоинститута металлорежущих станков(56) Авторское свидетельство СССРВ 643747, кл, С 01 В 11/24, 04.08.77(54)(57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССАПРОЯВЛЕНИЯ ШКАЛ РАСТРОВЫХ МЕР, ширина непрозрачных элементов которых шкалы когерентным не оком порядках спектр прекращают в моментстремальных значенийгииа95329 Составитель Е.ВостриковаТехред А.Кикемезей Корректор Е.Рошко Редактор Н.Киштулинец Заказ 7414/52 Тираж 447 ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подпис ное Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная,4 111Изобретение относится к фотолитографии, а именно к способам проявления, и может быть использовано при изготовлении прецизионных растровых шкалЦель изобретения - повышение точности контроля процесса проявления,На чертеже оказана структурно- функциональная схема устройства для осуществления способа.Устройство содержит лазер 1, кювету 2 с проявителем, в которой размещена заготовка 3 растровой меры, два фотоприемника 4, расположенные в направлении первого и более высокого порядка спектра, две схемы 5 поиска экстремумов и схему 6 совпадения.Предлагаемый способ реализуется следующим образом.В процессе проявления слоя фото-резиста, нанесенного на шкалу растровой меры, образуется фазовая реш 6 тка, на которой дифрагирует падающее на нее когерентное излучение. При помощи фотоприемника 4, один из которых установлен в первом по/ рядке спектра, а другой - в более высоком порядке спектра, например в третьем, измеряютизменения световой энергии, обусловленные изменением размеров проявляемых элементов растра, и при помощи схем поиска экстремумов определяют экстремальные значения сигналов в обоих каналах. Одновременно экстремальные10 значения сигналов в обоих каналахнаступают только при - = 0,5, гдеЬ1Ь - ширина штриха растра, 3 - период растра, т.е. когда ширина штриха равна половине периода растра.В этот момент схема 6 совпадения выдает сигнал об окончании процесса проявления. С увеличением номера .используемого порядка спектра частота появления экстремальных значений увеличивается, при этом увеличивается и чувствительность способа, так как уменьшается интервал изменения ширины штрихов между двумя экстре мальйыми значениями интенсивности порядка спектра, а пики экстремальных,значений носят более острую форму.
СмотретьЗаявка
3757504, 28.06.1984
ВИЛЬНЮССКИЙ ФИЛИАЛ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО НАУЧНО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ИНСТИТУТА МЕТАЛЛОРЕЖУЩИХ СТАНКОВ
БАРАКАУСКАС АЛЬГИМАНТАС-МАРЦЕЛИС АЛЕКСАНДРОВИЧ, ДАУКША ЭВАЛЬДАС АДОЛЬФОВИЧ, КУДРЯВЦЕВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ, БАРАДОКАС АНТАНАС АНТАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/24, G01D 13/02, G03C 5/29
Метки: мер, процесса, проявления, растровых, шкал
Опубликовано: 30.11.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1195329-sposob-kontrolya-processa-proyavleniya-shkal-rastrovykh-mer.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля процесса проявления шкал растровых мер</a>
Предыдущий патент: Устройство для наблюдения изображения объектов
Следующий патент: Преобразователь позиционного кода в вычет по произвольному модулю
Случайный патент: 323902