Ьаракаускас

Номер патента: 872952

Опубликовано: 15.10.1981

Авторы: Герберене, Даукша, Ушинскас, Ьаракаускас

МПК: G01B 11/00

Метки: мер, растровых, фотошаблонов

...ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4 ИФилиал ПОП. "Ртент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4 К - накопленная погрешность 1-гоучастка матрицы;й - величина зазора,Сущность способа заключается в следующем. 5Всю матрицу разбивают на некоторое количество участков, измеряют среднюю величину накопленной погрешности К 1 на каждом 1-ом участке матрицы, считая среднюю накопленную пог ъ решность К 1 первого участка равной нулю. Затем устанавливают матрицу и ,заготовку с некоторым зазором й друг относительно друга. Экспонирование эат готовки осуществляют коллимированным 1 Б пучком света со стороны матрицы, начиная с первого участка. При этом угол падения пучка света на первый...