Патенты с меткой «трехкристалльный»
Трехкристалльный рентгеновский спектрометр
Номер патента: 441488
Опубликовано: 30.08.1974
МПК: G01N 23/20
Метки: рентгеновский, спектрометр, трехкристалльный
...4, второй 5 и третий 6 крйсталлы, помещенные в герметичнуюкамеру, рентгеновскую трубку 7коллиматор 8. Подвижная часть 3 20камеры 1 может поворачиваться (дооткачки камеры) вместе с рентгеновской трубкой.Камера 1 имеет двойное дио,состоящее из внутренней опорной плиты 9 и наружной плиты 10. На опорной плите 9 размещены подшипникиосей 04 первого и 0третьегокристаллов, а также салазки 11 второго кристалла.30Вокруг подшипника оси Омогут поворачиваться плечи 12 и 13детекторов 14 и 15 соответственно.Ось 0 под камерой соединяется спрецизионным гониометром.35Излучение рентгеновской трубки, пройдя коллиматор, отражаетсяпоследовательно либо от первого,Второго и третьего кристаллов (врежиме трехкристального спектрометра), либо только от...
Способ контроля поверхностного слоя полупроводникового монокристалла и трехкристалльный рентгеновский спектрометр для осуществления способа
Номер патента: 894501
Опубликовано: 30.12.1981
Авторы: Афанасьев, Болдырев, Завьялова, Имамов, Ковальчук, Лобанович
МПК: G01N 23/207
Метки: монокристалла, поверхностного, полупроводникового, рентгеновский, слоя, спектрометр, способа, трехкристалльный
...от друга на 180Ба чертеже показана схема спектрометра. Способ осуществляется следующим образом.На первом этапе реализации первые два кристалла являются монохромато-. рами, а третий кристалл исследуемый. В этом случае получают трехкристальные собственные кривые отражения, не искаженные инструментальной ошибкой. При съемке нарушенного слоя кривая дифракционного отражения содержит хвосты, интенсивность ко" торых складывается, в общем случае,из интенсивности динамического рассеяния и интенсивности диффузного рассеяния на дефектах в нарушенном слое. Затем измеряют кривую дифракционного отражения от идеального кристалла, используя, например, об"ратную ненарушенную сторону исследуемого монокристалла.Затем, на втором этапе, исследуемый...