Устройство для проведения плазмохимических процессов

:л,.ЕНИЯподаисточ(21) 3265543 (22) 16. 01. 8 ерхнии электрод, систем твода реакционных газов ергии, устройство для и обрабатываемых пластин, а ю щ е е с я тем, что, вышения производительно Род чи и еме т,Н.ин и лич лью и с цетивели.П плаз чеки мич х процессов и оборудошлен 5 (515),выхода годных издля перемещения обн относительно ниж ство плас сположенных шт сть озвратно-пост на концах которыхтины, а в нижнем отверстия для пе располагают- электроде вы- ремещения л ол нен тырей ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ИСАНИЕ ИЗОБР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ 7,04.88, Бюл. 1 13 .А.Сологуб, В.И.Иван колаев, А.П.Медведев(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, содержащее реакционную камеру, нижний электрода выполнено в виде лии устроиаб атываемых него электуппы вертирей с возмож тельного дви957746 Изобретение поясняется чертежом,на котором изображено устройство Составитель Ю,МельниковРедактор Н.Сильнягина Техред И.Дидик Корректор В,Гирняк Тираж 832 Подписное ВПИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Заказ 3366 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. 11 роектная, 4 Изобретение относится к технической физике и пременяется для проведения плазмохимических процессов.Известно устройство для проведенияплазмохимических процессов, содержащее реакционную камеру, верхний инижний электроды, устройство для перемещения нижнего электрода с пластинами, систему подачи и отвода реак 10ционных газов. Недостатком этого устройства является неэффективное использование реакционных газов и низкое качество обработки иэ-за подтравливания образцов. Известно также уст 15ройство для проведения плаэмохимических процессов, содержащее реакционнуюкамеру, нижний и верхний электроды,систему подачи и отвода реакционныхгазов, источник энергии. Недостаткомэтого устройства является низкая20производительность плаэмохимическихпроцессов и низкий выход годных из. делий.Цель изобретения - повьппение про 25иэводительности плазмохимнческихпроцессов и увеличение выхода годныхизделий.Цель достигается тем, что в устройстве для проведения плазмохимических процессов, содержащем реакционную камеру, нижний электрод, верхний"электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии,устройство для перемещения обрабатываемых пластин, последнее выполнено 35в виде группы вертикально расположенных штырей с возможностью возвратно-поступательного движения, на концах которых располагаются пластины,а в нижнем электроде выполнены отверстия для перемещения штырей,для проведения плазмохимических процессов, содержащее реакционную камеру 1 с крышкой 2, нижний электрод 3с выступом 4, верхний электрод 5 с фтоковводом 6, систему 7 подачи реакционных газов, систему 8 отвода реакционньгх газов (отверстия), устройство9 для вертикального перемещения обрабатываемых пластин 1 О со штырями 11.Устройство работает следующим образом. При помощи ступенчатого вращения нижнего электрода 3 загрузочнымиштырями 11 и их устройствами 9 обрабатываемые пластины 10 устанавливаются на месте обработки на выступе4 нижнего электрода 3. Объем реакционной камеры 1 вакуумируется черезсистему (отверстия) 8, и через соплосистемы 7 подачи в реакционную камеру 1 напускают реакционные газы. Через токовводы 6 на электрод 5 подается высокочастотная энергия, в результате чего между электродом 5 иэлектродом 3 возбуждается плазменныйразряд. При этом, наряду с другимипроцессами, имеющими место в плазменном разряде (возбуждение и ионизация молекул и атомов), происходит образование химически активных радикалов, посредством которых осуществляется процесс плазмохимической обработкиповерхности пластин 10, размещенныхна электроде 3.Меняя состав .газообразных реагентов, а также условия в реакционнойкамере 1 (давление, температуру),возможно осуществление процесса плазмохимического осаждения материалов.Использование в устройстве подъемных штырей позволяет автоматизировать процесс загрузки-выгрузки обрабатываемых пластин, исключить загрязнение их оператором, т.е, повыситькачество обработки,