Патенты с меткой «немагнитных»
Способ измерения толщины никелевых покрытий на немагнитных изделиях
Номер патента: 1465690
Опубликовано: 15.03.1989
Авторы: Лухвич, Медведевских, Мелешко, Рудницкий
МПК: G01B 7/06
Метки: изделиях, немагнитных, никелевых, покрытий, толщины
...на ли-,цевой стороне изделия, Для этого используют образцы с различной толщиной гальванического никелевого по"крытия на немагнитном основании, аттестованной с точностью 0,1 мкм прямым методом. В пределах толщин никеля 2-20 мкм зависимость отрывногоусилия от толщины никеля Р = Г(Ь )близка к линейной,Для Нахождения коэфФициента К 1измеряют (для заданного Ь ) величину отрывного усилия при постоянной величине никелевого покрытия налицевой стороне и переменной величине никеля на обратной стороне. Другими словами, получаем ряд соотношенийпостоянного магнита на лицевой и обратной сторонах контролируемого из" делия. Кроме того, предварительно необходимо определить толщину немагнитного основания изделия. Это соответствует получению системы...
Способ измерения удельной электрической проводимости немагнитных материалов и устройство для измерения удельной электрической проводимости немагнитных материалов
Номер патента: 1478150
Опубликовано: 07.05.1989
МПК: G01R 27/02
Метки: немагнитных, проводимости, удельной, электрической
...передачи - в - постуВ.ч,ы пает на индикатор 27, Изменяя величину П, регулируемого источника 23 опорного напряжения, добиваются того, что индикатор 27 показывает величину 0ТогдаБ.тТ =а.опИо зтВ следующих операциях величинуне меняют,опДалее размыкают первый ключ 17,замыкают второй ключ 21 и задают изменение мешающего параметра материала (если мешающий параметр - зазор,то подкладывают диэлектрическую пластинку между вихретоковым преобразователем 3 и настроечным образцом материала), Изменение мешающего параметра приводит к изменению величинпараметров а, Ь и величины сигналаС выхода второго усилителя 16корсигнал Уор поступает на второй входвторого вычитающего блока 18, на первый вход которого поступает сигналБ,р хранящийся в блоке...
Устройство для извлечения немагнитных металлов из потока сыпучего материала
Номер патента: 1479108
Опубликовано: 15.05.1989
Авторы: Карташян, Нестеренко, Шведчикова
МПК: B03C 1/18, B03C 1/247
Метки: извлечения, металлов, немагнитных, потока, сыпучего
...сыпучего материала. Под лентой 6 в зоне действия магнитной системырасположена электромагнитная система 7, подключенная к источнику переменного тока (на чертеже не показано). Она содержит шихтованный магнитопровод 8, катушку 9, подключенную к источнику переменного тока, и полюсные наконечники 10. Рядом с лентой 6 установлен приемник 11 извлеченного металла.Устройство работает следующим образом.Катушки 3 подключаются к сети постоянного тока и электромагнитная система 1 приводится во вращение вокруг своей оси. Одновременно с этим намагничивающая катушка 9 электромагнитной системы 7 подключается к сети переменного тока. При этом, в пространстве между электромагнитными системамии 7, т. е. непосредственно в зоне нахождения сыпучего...
Устройство для определения профиля поверхности немагнитных объектов
Номер патента: 1490480
Опубликовано: 30.06.1989
Авторы: Биневская, Иванов, Ленков, Фролов
МПК: G01B 21/00
Метки: немагнитных, объектов, поверхности, профиля
...прцвсех Х, кроме Х=Х,. Вклад в наблюдаемый сигнал ЯМР дадут те ядра, которые находятся в слое толщиной Хвблиз плоскости, проходлцей черезХ , перпендикулярно осц Х, На практике осциллирующцй градиент создаютпарой соосных катушек, пцтаемьгх переменным током, магнитные полл которых направлены навстречу друг другу.Положение чувствительной плоскостиопределяется при этом соотцоненцемтоков в этих катушках.Устройство для определенцл проФи -ля поверхности немагнцтных объектовработает следующим образом (см.фиг. 1).Измеряемый объект 16 помещаетсяв емкость 10, которая является зонойизмерения, заполненную жидкостью 9,содержащей ядра, обладающие магнитным моментом, предпочтительно протоносодержащей, например, водой. Магнитная системасоздает э зоне...
Магнитный способ измерения физико-механических параметров немагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях
Номер патента: 1583733
Опубликовано: 07.08.1990
Авторы: Будякина, Ильинская, Хахин, Хворостухин
МПК: G01B 7/06
Метки: магнитный, немагнитных, основаниях, параметров, покрытий, ферромагнитных, физико-механических
...Гмин усилия сдвига. Чем больше разница между ними, тем выше анизотропия физико-механических свойств поверхности. Относительным показателем а степени анизотропии является выражениеГ макс ГминГминВлияние анизотропии фиэикО-механических свойств поверхности на интенсивность изнашивания может иметь как положительный, так и отрицательный арактер в зависимости от направления перемещения трущихся поверхностей и направления аниэотропии физико-механических свойств. При прогнозировании интенсивности изнашивания, а следовательно, и гарантированного ресурса работы трущихся деталей наиболее важно учесть неблагоприятные последствия анизотропии, которые могут привести к увеличению износа и сокращению ресурса работы детали или узла по сравнению...
Устройство для бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления изделий из немагнитных материалов
Номер патента: 1596279
Опубликовано: 30.09.1990
МПК: G01R 27/26
Метки: бесконтактного, немагнитных, сопротивления, удельного, электрического
...поля, являющейся информативным сигналом об3 О удельном электрическом сопротивлениииэделия, осуществляется с высокойточностью в момент равенства нулюсредних ипи действующих значений ЭДСрабочей катушки электромагнитногопреобразователя и опорной ЭДС, Этоповышает точность измерений, Крометого, проводя измерения удельногоэлектрического сопротивления изделияна разных фиксированных глубинах про 4 О никновения электромагнитного поля визделие, определяют тем самым распределение удельного электрического сопротивления по сечению иэделия и,следовательно, расширяют функцио 45 нальные возможности способа,Устройство для осуществления способа работает следующим образом,Предварительно устанонкой переключателя 8 компенсационной катушки7 в...
Устройство для измерения толщины стенки изделий из немагнитных материалов
Номер патента: 1597521
Опубликовано: 07.10.1990
МПК: G01B 7/06
Метки: немагнитных, стенки, толщины
...устройства вдоль измеряемой стенки изделия 3 перемещается также элемент 2, прй изменениитолщины стенки изделия 3 изменяетсярасстояние между элементом 2 и на 75216конечником, а следовательно, и ЭДС Холла. Это изменение фиксируется блоком 6 регистрации. Шкала блока 6 регистрации может быть проградуирована в миллиметрах и показывать сразу толщину измеряемой стенки иэделия 3 в любом сечении, не прерывая процесс измерения.Технико-экономический эффект от использования изобретения заключается в повышении производительности и точности измерения за счет непрерывного . измерения толщины стенки и применения элемента Холла, а также в упрощении конструкции,Формула изобретенияУстройство для измерения толщины 20 стенки изделий из немагнитных...
Индуктивный датчик для измерения толщины изделий из немагнитных материалов
Номер патента: 1620814
Опубликовано: 15.01.1991
МПК: G01B 7/06
Метки: датчик, индуктивный, немагнитных, толщины
...гибкий магнитопровод, установленные на его концах стержневые магнитопроводы с наконечниками в форме конусов и с охватывающими магнитопроводы измерительными катушками, соединенными последовательно согласно, стержневые магнитопроводы подпружинены в осевом направ-лении относительно гибкого магнитопровода, измерительные катушки жестко закреплены на основании, а наконечники выполнены с охватывающими концы чашеобразными экранами из ферромагнитного материала. 2 ил. и 20 из ферромагнитного матертель 21 катушек.Устройство работает следу При помещении изделия между наконечниками 3 и 4 в форме конуса магнитопроводы 5 и б получают движение в противоположные направления и увеличивается охват числа витков измерительных катушек 7 и 8, Катушки 7...
Способ магнитно-абразивной обработки внутренних поверхностей немагнитных трубчатых изделий
Номер патента: 1627383
Опубликовано: 15.02.1991
Авторы: Малышкин, Подсобей, Тарун, Хомич, Чачин
МПК: B24B 31/112
Метки: внутренних, магнитно-абразивной, немагнитных, поверхностей, трубчатых
...а =(0,5 - 1,0) б, где б - внутренний диаметр обрабатываемого изделия, и в полости трубчатого изделия вводят порцию магнитно-абразивного порошка 4. Полюсному наконечнику 2 придают вращательное движение вокруг его оси, а изделию придают движение подачи в зону обработки перпендикулярно оси вращения полюсного наконечника 2 и вращательное движение вокруг его оси противоположно на входе в зону обработки направлению вращения торцовой рабочей поверхности в виде сектора 3 полюсного наконечника, под воздействием магнитного поля которого вращается щетка из магнитно-абразивного порошка 4, которая производит первичную черновую обработку участка внутренней поверхности трубчатого изделия 1. При продвижении изделия 1 во вторую часть зоны...
Устройство для контроля толщины изделий из немагнитных материалов
Номер патента: 1640623
Опубликовано: 07.04.1991
Автор: Фридман
МПК: G01N 27/90
Метки: немагнитных, толщины
...минимальный уровень сигнала на входе усилителя 8 переменного тока.При последующем уточнении поло 55 жения подвижного контакта потенциометра СКС-делителя 12 переменный сигнал на входных клеммах усилите 3 4ля 8 приводится к нулевому уровню,что обусловливает нулевой уровень напряжения постоянного тока на выходе детектора 9 и нулевое показаниестрелочног индикатора 10. После указанной предварительной регулировки устройстваприступают к измерениям, для чего подлежащие профильномуконтролю изделия 18 поочередно вводятсямежду окончаниями фиксированногои подвижного (подпружиненного) усеченных цилиндро-конических магнитных щупов 16, 17. При этом в зависимости от толщины контролируемогоучастка изделия 18 изменяется расстояние между...
Способ вихретоковой дефектоскопии немагнитных материалов
Номер патента: 1647376
Опубликовано: 07.05.1991
МПК: G01N 27/90
Метки: вихретоковой, дефектоскопии, немагнитных
...сканирования выбран равным 0,5 мм. Сглаживание осуществляют путем определения среднего из 8 отсчетов (на интервале 0,5 мм х 8 = 4 мм). Эксперименты показывают, что на таком интервале электропровод- ность практически не изменяется. В то же время деление на 8 осуществляется просто, сдвигом на три двоичных разряда вправо. Текущее сглаживание осуществляется путем пошагового перемещения усредняющей восьмерки по оси (фиг.2): Так, первому усреднению подвергаются отсчеты с 1 по 8, в результате получаем у 4 - сглаженный отсчет, отнесенный к четвертому шагу, второму усреднению подвергаются отсчеты с 2 по 9, в результате получаем у 5, далее - с 3 по 10, получаем у 6 и так далее, т,е. усредненные или сглаженные отсчеты отстоят друг от друга на...
Устройство для измерения физико-механических параметров немагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях
Номер патента: 1652807
Опубликовано: 30.05.1991
Авторы: Будякина, Ильинская, Хахин, Хворостухин
МПК: G01B 7/10
Метки: немагнитных, основаниях, параметров, покрытий, ферромагнитных, физико-механических
...к рычагу 9, определя 1 от усилие сдвига Р, Измерение усилия Е проводят несколько раз, поворачивая корпус вокруг своей оси на угол а. По результатам измерений вычислЯют Рвах и Рщщ, которые определяют анизотропию свойств контролируемой поверхности в различных направлениях. 1 ил.2 с рычагом 8, В рычаг 9 упирается штокстрелочного индикатора 11.Устройство работает следующим образом,Помещают корпус 1 на поверхностьконтролируемого покрытия, Магнит 2 вобойме 3 притягивается к ферромагнитно,материалу основы (на чертеже не показан) сусилием Р, величина которого зависит оттолщины покрытия, величины волнистостии шероховатости, степени наклепа и т.п,Постепенно увеличивая нагрузку, прикладываемую к рычагу 5, определяют по индикатору 6 усилие отрыва Р....
Способ магнитно-абразивной обработки деталей из немагнитных материалов
Номер патента: 1662815
Опубликовано: 15.07.1991
Авторы: Незнамова, Никитский, Хомич, Чачин, Яркович
МПК: B24B 31/112
Метки: магнитно-абразивной, немагнитных
...перемешивание порошка и высокую режущую способность, а следовательно, повышает . скорость съема.Перемешивание происходит за счет на-личия относительного движения мембраны, отделяющей порошок от индуктора, При этом порошок удерживается магнитами и слой, прилегающий к мембране, увлекается вперед, так как ее скорость выше скорости магнитов, а нижние слои тормозятся обрабатываемой деталью, При движении впе1662815 00/О 800,5 ред порошок снижает сцепление с мембраной и движется со скоростью магнитов, образуя валок, наружный слой которого при трении о деталь смещается назад и, доходя до тыльной зоны магнита, прижимается к мембране, Таким образом, порошок движется по замкнутой траектории (слой у мембраны вперед относительно магнита,...
Способ измерения толщины изделий из немагнитных материалов
Номер патента: 1668854
Опубликовано: 07.08.1991
Авторы: Жарик, Клявлин, Колосов, Марголин, Мельничук
МПК: G01B 7/06
Метки: немагнитных, толщины
...ферромагнитное тело в виде упругого стержня 2 со сферическим наконечником 3.Упругий стержень 2 жестко закреплен в точке подвеса в корпусе 4. Измерительный , блок имеет также две задающие катушки 5, подключенные к генератору 6, Кроме того, на стержне 2 закреплен датчик 7. подсоединенный к осциллографу 8. К внутренней я вплотную подведен электзаземленным магнитопровоествляют следующим обра 3 1668854М - жесткость колебательной системы;в - масса колеблющегося тела.Далее измерительный блок подводитсяк внешней стенке изделия таким образом, чтобы между ними был некоторый воздуш ный зазор д позволяющий свободно коле -баться ферромагнитному сферическому наконечнику 3.С- противоположной стороны иэделия располагают электромагнит 9 и на...
Устройство для сепарации немагнитных металлических включений из отработанной формовочной смеси
Номер патента: 1694311
Опубликовано: 30.11.1991
Автор: Лосев
МПК: B22C 5/06
Метки: включений, металлических, немагнитных, отработанной, сепарации, смеси, формовочной
...смесь од 9 в полость Б во стрелке Ж посту ки, В полости Л отработанной см Металлическ ности удельных дают на воздет разка осе- льную ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ И К АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(71) Специальное проектское и технологическое бкузнечного производств "С(54) УСТРОЙСТВО ДЛЛ СМАГНИТНЫХ МЕТАЛЛИЧЕНИЙ ИЗ ОТФОРМОВОЧНОЙ СМЕСИ(57) Изобретение относипроизводству, в частности для об быть и нитны ботан изобр ния не ной перего проду ния их жена в причем зонес а конв стин, с 2 ил. о лотку 2 по стрелке Г поданая отработанная формоновременно через фланец здушного коллектора 8 по пает воздух от воздуходувсоздается кипящий слой еси.ие включения за сч весов металла и пес ухораспределите1694311 ф --3 решетку...
Устройство для измерения толщины немагнитных покрытий на ферромагнитном основании
Номер патента: 1730530
Опубликовано: 30.04.1992
МПК: G01B 7/06
Метки: немагнитных, основании, покрытий, толщины, ферромагнитном
...соединенные источник питания, выполненный в виде генератора 1 прямоугольных импульсов, фильтр 2 нижних частот, электромагнитный преобразователь 3, фазочувствительный детектор 4, блок 5 обработки сигналов, ключ б, а также последовательно соединенные источник 7 Опорного напряжения, ключ 8, интегрирующую цепочку 9 с узлом 10 сброса, компаратор 11, генератор 12 пилообразного напряжения, амплитудный детектор 13 и блок 14 измерения и индикации.Выход генератора 1 подключен к управляющим входам ключей б и 8 узла 10 сброса, а также фазочувствительного детектора 4. Выход ключа б подключен к одному из входов компаратора 11,Устройство работает следующим образом.Формируемые генератором 1 прямоугольные импульсы частотой 400 Гц поступают на вход...
Устройство для измерения толщины немагнитных электропроводящих листовых изделий
Номер патента: 1762109
Опубликовано: 15.09.1992
Автор: Фридман
МПК: G01B 7/06
Метки: листовых, немагнитных, толщины, электропроводящих
...выводами симметрирующего потенциометра 25, подвижный контакт которого связан с выходом генератора 26 переменного тока.Выход усилителя 22 переменного тока через амплитудный детектор 27 соединен с параллельно включенными входами стрелочного индикатора 28 (вольтметра) и самописца 29.При проведении измерений листовых и рулонных изделий, требующих повышенной степени дискретности и информативности профильного контроля на исследуемых участках площади изделия, излучатель переменного магнитного поля, составленный катушкой 7 индуктивности и элементами 5, 6 бронированного магнитопровода, может быть заменен узлом, выполненным в виде магнитной головки с П-образным или С-образным магнитным сердечником 30 и посаженной на него обмоткой 31 (фиг.2),...
Способ вихретоковой дефектоскопии немагнитных материалов
Номер патента: 1770888
Опубликовано: 23.10.1992
Автор: Хандецкий
МПК: G01N 27/90
Метки: вихретоковой, дефектоскопии, немагнитных
...15 20 25 30 35 40 45 50 55 но более высокой частоты, осуществляет измерение электропроводности композита в дефектной зоне независимо от наличия и глубины поверхностного дефекта. Максимальная чувствительность вихретокового преобразователя к влиянию дефекта имеет место при определенном соотношении между его диаметром, значениями электропроводности материала и частоты, которое соответствует работе ВТП в области экстремума годографа внесенного сигнала. Увеличение диаметра ВТП резко снижает чувствительность к трещине, значительное повышение частоты, за счет влияния токов смещения, еще более усиливает этот эффект. В итоге, внесенный сигнал этого преобразователя определяется значением электропроводности материала в зоне непосредственного...
Способ магнитно-абразивной обработки внутренних поверхностей полых немагнитных деталей типа тел вращения
Номер патента: 1773696
Опубликовано: 07.11.1992
Авторы: Болкисев, Иванов, Ищенко, Нестеров
МПК: B24B 31/112
Метки: внутренних, вращения, магнитно-абразивной, немагнитных, поверхностей, полых, тел, типа
...зерен в рабочих зазорах и участ"е всех зерен в обработке.Выступ - концентратор магнитного поля выполняют в виде винтового выступа прямоугольного профиля, Для получения максимальной производительности угол наклона винтовой поверхности выбирают равным углу наклона главного вектора скорости оправки, определенному из назначен и ых режимов об работ ки.Поскольку при обработке крупногабаритных деталей скорость их вращения по крайней мере на порядок меньше скорости вращения оправки (например, соответственно 0,004.0,01 и 0,8.,;2,5 м/с), можно считать, что скорость резания примерно равна скорости вращения оправки Ч 6 =-Чр, В таком случае направление главного вектора скорости оправки совпададт с направлением вектора скорости обработки...
Способ переработки шлаков от производства немагнитных и слабомагнитных сплавов
Номер патента: 1774962
Опубликовано: 07.11.1992
Авторы: Грабеклис, Леонтьев, Матвеев, Матвиенко, Мухин, Пономарев
МПК: C22B 7/04
Метки: немагнитных, переработки, производства, слабомагнитных, сплавов, шлаков
...кусков отсекаемый металлсодержащий шлак (металлоконцентрат) будет состоять из существенно не одинаковых по качеству кусков, что, в конечном счете, исключает возможность получения концентрата с заданным содержанием металлической фазы.В ходе проведения испытаний обнаружено, что превышение размеров максимальных по крупности кусков над размерами наиболее мелких в потоке более чем в 2,5 раза приводит к недопустимому разбросу в величинах заданной массовой доли включений сплава в концентрате от опыта к опыту, чаще всего в сторону снижения этой величины. В зависимости от направления использования металлоконцентрата и вида шлака задается25 40 55 определенное содержание металлических включений в отсепарированном продукте - от 30 до 100;ь. При...
Устройство для контроля толщины немагнитных материалов
Номер патента: 1784919
Опубликовано: 30.12.1992
Авторы: Лепихов, Липман, Лузгин, Матюхин, Николаев, Поляков, Сабанский, Ширяев, Штут
МПК: D01H 5/54, G01N 33/36
Метки: немагнитных, толщины
...чувствительности и снижение энер. гоемкбсти,На фиг.1 показана схема устройст-ва; на фиг.2 - соединеййе опор при-жимного цилиндра с неподвижной поверхностью,Устройство содержит приводной ци лйндр 1, шейками 2 установленный висточником"Мременного тока с напряжениеми,. а обмотка катушки 9 черезусилитель 11 связайас регистратором12 напряжения, Подшипники 3 цилиндра5 размещены в немагнитопроводящихкольцах-опорах 13 и установлены внеподвижных направляющих (НН) с воз"можностью вертикального перемещенияотносительно цилиндра 1, Цилиндры 1и 5 выполнены из ферромагнитного ма-териала, например из электротехничес кой стали . Опоры 13 могут быть такжезакреплены на неподвижной поверхности)(НП) корпуса машины посредством вин- фтов 14 (фиг.2) так,...
Способ б. п. фридмана толщинометрии стенок пустотелых немагнитных изделий с затрудненным доступом в полость и устройство для его осуществления
Номер патента: 1529873
Опубликовано: 07.05.1993
Автор: Фридман
МПК: G01B 7/06
Метки: доступом, затрудненным, немагнитных, полость, пустотелых, стенок, толщинометрии, фридмана
...резонансного сопротивления колебательного контура падает.Если в исходно установленном состоянии измерительной системы, когда отсутствует реакция контролируемого изделия 1 с агентом 2 на катушку 4, предварительно установленное положение потенциометра 14 обеспечивает нулевое показание выходного индикатора 17, чему соответствует взаимное компенсирующее воздействие на блок 15 сравнения переменного сигнала, поступающего с выхода усилителя 9, и меандра. поступающего с потенциометра 14, то при установке катушки 4 у подлежащего контролю участка 3 под влиянием воздействующего на катушку 4 переменного магнитного противотока. создаваемого индуктированными в агенте 2 вихревыми токами, эквивалентное резонансное сопротивление ЕС-контура...
Вихретоковый преобразователь для неразрушающего контроля немагнитных материалов
Номер патента: 1839239
Опубликовано: 30.12.1993
Авторы: Андросов, Терехов, Трошков
МПК: G01N 27/90
Метки: вихретоковый, немагнитных, неразрушающего
...ЭДС в компенсационнойкатушке и общий поток, пронизывающий измерительную катушку, Компенсация происходит при неопределенном (произвольном)значении амплитуды и фазы реэультирую 40 щего напряжения на выходе ВТП,Целью изобретения является повышение тОчности контроля за счет отстройки отвлияния изменения зазора.Поставленная цель достигается эа счет45 того, что в вихретоковом преобразователедля неразрушающего контроля немагнитных материалов фазовым методом, содержащем корпус, магнитопровод,возбуждающую катушку, измерительную и50 компенсационную катушки, расположенные на магнитопроводе по разные сторонывозбуждающей, а также компенсатор, установленный с воэможностью перемещенияотносительно торца магнитопровода со стоб 5 роны компенсационной...
Способ контроля остаточных напряжений в немагнитных металлических изделиях
Номер патента: 1619878
Опубликовано: 10.05.1997
Авторы: Макаров, Погодин, Румянцев, Учанин
МПК: G01N 27/00
Метки: изделиях, металлических, напряжений, немагнитных, остаточных
...реализуется следующим образом. Предварительно в соответствии с известными соотношениями электродинамики выбирают низшую частоту н, обеспечивающую проникновение вихревых токов на глубину, в 2 - 3 раза превышающую дп поверхностно обработанного слоя, и высшую 1. Способ контроля остаточных напряжений в немагнитных металлических изделиях, заключающийся в том, что возбуждают в контролируемом изделии вихревые токи при двух различных распределениях их плотности в зоне контроля, определяют реакцию вихревых токов при каждом распределении их плотности, формируют напряжения, функционально связанные с полученными реакциями вихревых токов, и по отношению этих напряжений судят об остаточных напряжениях, отличающийся тем, что, с целью повышения...
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов
Номер патента: 1289308
Опубликовано: 27.06.2012
Авторы: Готлиб, Гурский, Дударчик, Зеленин, Паничев, Рубцевич
МПК: H01L 21/302
Метки: вакуумно-плазменного, немагнитных, пластин, травления
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов, включающее планарный реактор с расположенной в нем парой электродов, соединенных с высокочастотным генератором, систему газоснабжения, вакуумную систему и систему формирования магнитного поля, выполненную в виде переменнополюсной комбинации постоянных магнитов, отличающееся тем, что, с целью локализации областей травления и увеличения скорости их травления путем повышения концентрации ионов над заданными областями пластин, система формирования магнитного поля снабжена полюсными накладками, выполненными в виде свободных масок, и установлена между парой электродов на одном из них.