Рубцевич
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов
Номер патента: 1289308
Опубликовано: 27.06.2012
Авторы: Готлиб, Гурский, Дударчик, Зеленин, Паничев, Рубцевич
МПК: H01L 21/302
Метки: вакуумно-плазменного, немагнитных, пластин, травления
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов, включающее планарный реактор с расположенной в нем парой электродов, соединенных с высокочастотным генератором, систему газоснабжения, вакуумную систему и систему формирования магнитного поля, выполненную в виде переменнополюсной комбинации постоянных магнитов, отличающееся тем, что, с целью локализации областей травления и увеличения скорости их травления путем повышения концентрации ионов над заданными областями пластин, система формирования магнитного поля снабжена полюсными накладками, выполненными в виде свободных масок, и установлена между парой электродов на одном из них.