Пастощук

Номер патента: 1787685

Опубликовано: 15.01.1993

Автор: Пастощук

МПК: B22F 3/12

Метки: вакуумного, мишеней, распыления, установок

...прессуют в пресс-формах иобжигают с различным чередованием этихопераций,Недостатком этих способов является то,что в изготовленных мишенях возникаюттермические напряжения в процессе распыления, что приводит к растрескиванию мишени, Эффективное охлаждение мишени повсей толщине невозможно из-за глохой теплопро водности, обусловленной пористо стью мишени,.Целью изобретения является повышение термостойкости мишени путем добавкив шихту порошка алюминия и проведенияспекания при температуре 680 + 20 С,П р и м е р. Порошок чистого алюминиясмешивают с исходным инертным наполни(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ ДЛЯ УСТАНОВОК ВАКУУМНОГО РАСПЫЛЕНИЯ телем (Ай, ЯЗ)ч 4, ВК, А 20 з и с спекания заготовки осуществл фере кислорода или смеси к...

Номер патента: 1704920

Опубликовано: 15.01.1992

Автор: Пастощук

МПК: B22F 3/12, C23C 14/34

Метки: керамических, мишеней, напыляемых, пленок, преимущественно

...алюминия и нитрида апюии .1 я в раствор добавляют 53 1704920 А 1(5)5 В 22 Е 3/12, С 23 С 14/34 ДЛЯ ПОЛУ МНОК(57) Изобретение относится к пометаллургии, Целью изобрегенияобеспечение люл 1 инесцентностиемых пленок. Предлагаемый сключается в том, что порошки алнитрида алюминия смешивают (5 миния, остальное нитрид алюминчивающей порошки и легко испажидкости, содержащей хлоридзатем проводят сушку, прессовани спекание при 660-700 С в заГл 1 осфере. спирт, В полученный раствор засыпают порошки нитрида алюминия и алюминия. Образованную суспензию перемешивают, В результате жидкость смачивает, обволакивает поверхность частиц алюминия и нитрида алюминия, а растворенный хлорид марганца равномерно распределяется по обьему порошка. После сл 1...