Патенты с меткой «гетеродинное»

Номер патента: 1384949

Опубликовано: 30.03.1988

Авторы: Максименко, Полещук

МПК: G01B 21/00

Метки: гетеродинное, напыляемых, слоев, стравливаемых, толщины

...на фазометр 12, который осуществляет измерение фазыизмерительного сигнала посредствомсравнения ее с фазой опорного сигнала. фаза опорного сигнала не меняется в процессе травления или напыления, а фаза измерительного сигнала пропорциональна глубине Ь 1 д=.Ь, -дд рельефа поверхности, следовательно, измерение фазы измерительного сигна 5 ла относительно фазы опорного сигнала позволяет получить информацию о глубине рельефа дди поверхности.Оптический излучатель 1 работает следующим образом. Когерентный свето" вой поток, выходящий из лазера 14, фокусируется первым объективом 15, подвергаясь разделению первым светоделительным поляризационным элементом 16 на два параллельных луча с взаимно ортогональнымн поляризациями на акустооптическом...