Патенты с меткой «мишень»

Номер патента: 598450

Опубликовано: 15.08.1982

Авторы: Зефиров, Прокатор, Федорова, Якименко

МПК: H01J 29/45

Метки: видикона, мишень

...составляющих гетеропереход, на покрытые прозрачной проводящей пленкой ЯпОз пли УпзОз стеклянные план- шайбы.Поликристаллическпе слои твердого раствора Сд 5 е - СдТе образуются при конденсации паров исходного твердого раствора а нагретых подложках, Твердые растворы могут иметь содержание СОТе от 5 до 95 вес,о/о. Медь и хлорид кадмия вводят в шихту при синтезе исходного твердого раствора, Толщину запыленного слоя варьируют в пределах 0,5 - 10 мкм.После напыления поликрпсталлический слой твердого раствора подвергают активационному отжигу, Затем на слой твердого раствора напыляют слой высокоомного фотопроводника Аз,Безье Азз,Р.1 ез или АзЬМз. Могут быть использованы также Аз.Яз, Р,Без, Азз 0 з, Уп 5 и УпЬе.Толщину слоя фотопроводнпка в...

Номер патента: 961000

Опубликовано: 23.09.1982

Автор: Зефиров

МПК: H01J 29/45

Метки: мишень, передающей, телевизионной, трубки

...Объем от-окачивают до р=5 10 Па, после чего при термическом испарении материала на сигнальной пластине формируется фоточувствительный слой с блокирующей прослойкой, В приведенном примере подъем температуры в начальный момент соответствует ЗСС/мин. Затем скорость испарения увеличивается в 4,5 раза в интервале 290-380 С и слой 3 формируется за 3,5 мин.Мишени (фиг, 2) имеют малые значения темнового тока при больших напряжениях (кривая 1), Темновой ток такой мишени очень мал и составляет менее 1 нА который начинает незначительно возрастать, при напряжениях более 60 В. Йействительно, образование блокирующей прослойки из кислородсодержащих соединений предотвращает инжекцию основных носителей из электрода в фоточувствительный слой при...

Номер патента: 962825

Опубликовано: 30.09.1982

Автор: Плескач

МПК: G01T 5/06

Метки: вакуумплотного, ввода, мишень, трекочувствительную

...достигать 5 К, го теплопритока по вводу. Для этого глуКроме того, отсутствует контроль за бина кольцевого паза должна быть в 10 герметичностью ввода и системы защиты, 20 раз больше толщины стенки внешнейВ случае нарушения герметичности ввода оболочки.возможно практически неконтролируемоеСхема откачки и контроля за гермезагрязнение дорогостоящего рабочего ве- тичностью (фиг. 2) включает в себяшества мишени, например дейтерия, водо- узел 6 вывода внешней и внутренней обо-родом или утечка этого продукта. Для лочек из корпуса камеры 7 в ее вакуумобеспечения чистоты проведения экспери- ный кожух 8, линию 9 откачки внешнеймента примесь, например, водорода в дей- З 0 оболочки, контактный вакууметр 10, систерни не должна превышать 10 объем-...

Номер патента: 1010440

Опубликовано: 07.04.1983

Авторы: Назаров, Сянов

МПК: F41J 1/16

Метки: биатлона, мишень

...жестко соединенными с поворотнойстворкой, в щите образованы контрольные отверстия, а противовес выполнен 35в виде плиты, подвешенной на перекинутом через шкивы тросе и перекрывающей контрольные отверстия.На фиг. 1 показана мишень для биаглона вид сбоку; на фиг. 2 - вид Ана фиг. 1.Мишень для биатлона содержит щит1 из сгальног. листа с отверстием 2в центре. К шиту 1 приварен направляющий стакан, 3, который является предохранигельной металлической обоймой дляотражения рикошета пуль. С нижней стороны стакана 3 имеется окно 4 для выпадения пуль и осколков. Отверстие 2 стыльной стороны щита закрыто поворотной створкой в виде дискового маятника 5, качающегося на оси 6, На маятникеустановлена скоба 7, соединенная с подпружиненным упором 8,...

Номер патента: 1010677

Опубликовано: 07.04.1983

Авторы: Коротин, Красницкая, Попов, Эминов

МПК: H01J 29/45

Метки: мишень, мозаичная, передающей, телевизионной, трубки

...общей областью 17 затвора, которая сужаясь, переходит в узкую область 18 затвора МОП-транзистора. Исток 19 и сток 20 этого транзистора соединяются через источник 10 тока с предусилителем 8, Область 18 затвора подключена к источнику 11 тока, второй полюс которого подсоединен к системе 21 истоков МОП-транзисторов 22, каждый на одну сторону мозаики. Стоки 23 этих транзисторов соединяются с резистивными коллекторными затворами 16. Затворы 24 этих МОП-транзисторов изготовлены из материала с малой работой выхода электронов и их достигает электронный луч 25 сканирующий мозаику островков 13,Под заряженными отрицательно МДП-островками (Фиг.З) образуются обедненные области 26. Коллекторный затвор 16 расположен поверх диэлектрика 27,...

Номер патента: 1018172

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Господинов, Осминкина

МПК: H01J 31/00

Метки: мишень, передающей, телевизионной, трубки

...натянутой на опорное проводящее . кольцо, со стороны считывания мишени на опорном кольце и стеклянной пленке расположено проводящее покрытие толщиной 5-50 мкм, внутренний диаметр которого равен диагонали растра передаваемого изоЬражения, а на. ружный диаметр равен внутреннему диаме,ру опорного кольца. 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Целью изобретения являются улучшение качества передачи изображения путем исключения эффекта "заплыва ния" мишени. Минимальная толщина проводящего покрытия ограничена технологическими возможностями, а также тем, что эта пленка должна обеспечивать достаточную проводимость, а максимальная тол щина покрытия обусловлена тем, что при толщине более 50 мкм появляются побочные эффекты, ухудшающие работоспособность...

Номер патента: 615814

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Прудников, Торопов, Тронов, Хохряков

МПК: H05H 7/00

Метки: генерирования, излучения, мишень, тормозного

...излучения я без увеличения доли рассеянного тормозного излучения на выходемишени в направлении облучаемого объектаа. 1 6158111 2Изобретение относится к областиускорительной техники и может бытьиспользовано для преобразования энергии пучка ускорения элементарныхчастиц в энергию тормозного излучения,5Известные мишени, предназначенныедля. генерирования .тормозного излуче"ния в выходных устройствах усилителей элементарных частиц, сложны конструктивно, 10Известна стационарная мишень, содержащая чередующиеся слои материалас большим атомным номером, напримервольфрама, и материала с хорошимитеплофизическими характеристиками, 15например меди, контур принудительно- .,го охлаждения.Целью изобретения является увеличение тепловой нагрузки на...

Номер патента: 1038803

Опубликовано: 30.08.1983

Авторы: Николаев, Пилин, Пинегин, Попов

МПК: F41J 7/00

Метки: мишень, поворотная

...соединенной с ней на одном конце посредством направляющих. пазов подвижной шторки, размещенной с регулируемым зазором относительно верхней стенки кожуха, иповоротной шторки, шарнирно укрепленной на дру- З 0 гом конце неподвижной стенки 2).Недостатком данной мишени являет- ся наличие внутри кожуха подвижных частей, снижающих надежность работы мишени в полевых условиях ввиду воз" 35 можной коррозии деталей подвижных частей от атмосферных воздействий.Цель изобретения - увеличение надежности работы мищенн.Укаэанная цель достигается тем, 40 что в поворотной мишени, содержащей мишенный щит, поворотную створку с противовесом и жестко связанную со створкой замкнутую полость, заполненную телами качения, внутри которой расположена...

Номер патента: 1051612

Опубликовано: 30.10.1983

Автор: Кравченко

МПК: H01J 29/10

Метки: мишень, пироэлектрической, трубки, электронно-лучевой

...промежутки между которымисвободны от пироэлектрического материала. С этой же стороны на основе 1 расположен проводящий слойв виде сетки 3, ячейки которойохватывают с зазором соответствующиемозаичные элементы, не соприкасаясьс ними. Слой 3 может быть выполнениз яихрома или лругого материала,На основаниях мозаи чных элементовпирозлектрического слоя 2 со стороны электронного луча расположенслой 4, поглащающий входной оптический сигнал. Поглащающий слойможет быть выполнен из нихрома. Наоснове 1 со стороны входного оптического сигнала расположен просветляющий слой 5, на котором со сторонывходного оптического сигнала расположен сигнальный электрод .б, выполненный из проводящего материала,прозрачного для входного...

Номер патента: 1064124

Опубликовано: 30.12.1983

Авторы: Дайнаускас, Якубаускас

МПК: F41J 1/00

Метки: мишень, стрельбы

...за отверстиями и выполненную в виде Фигурной полости с перегородками,заполненнсй шариками 12 3,Недостатками этой мишени являются 2 Осложность конструкции заслонки и невозможность ведения стрельбы по нейв непрерывном режиме из-за существенного времени поворота заслонки в исходное положение в результате пересыпания шариков, что снижает эффек 2тивность использования мишени. Цель изобретения - повышение эффективности стрелковой подготовки за счет обеспечения возможности непрерывной стрельбы по,мишени и упрокение конструкции.Поставленная цель достигается: тем, чтов мишени для стрельбы, сорержащей щит с пулевыми отверстиями 35 и поворотную заслонку, шарнирно укрепленную на тыльной стороне щита за отверстиями, шит снабжен пружинными захватами,...

Номер патента: 1109576

Опубликовано: 23.08.1984

Авторы: Горшенин, Маркевич, Мягков

МПК: F41J 3/00

Метки: игровая, мишень

...ВЬСТМПЫ с 1 СТГИ ЦГРО 3;сХ элементов, д прицельный ниток вьпол:сц прозрачным и ззкрслен нд к(ис держателя перед игровыми элс)Гнтзми.Ня фиг. 1 изооражена игрозя ми;не, общий вил; ца фиг. 2-1 игровые элем(н ты в зацеплении с фиксатором, нз фнг.фиксатор с расположением прорез(й 0 но- сительно игровых элементов.Ировс(51 мишень содержит кори)(. 1, с(5 разъемны( игровьс э.(.менты 2-7, которсГ установлены д оси 8, Мпнень нмсст црицс;1 ьный н(иток 9, Бцно,пГНПЫЙ из:1)Озрдчного материала, и фиксатор, который ц полнсн В Виде-Оорд Знои плдс 1 ины 10 с нро5 О резями 11 -- 11). (.-Обрсзнс(я пласт;аз .331- крелена на держателе 17 например, 1;и- линлрическОМ или нр 51 мо",О 1 ьном с Грж нс), который уст ановлец в корпусе с сзможВОЗВРЯТ Но-НОСТХ Нзт(с,...

Номер патента: 1005580

Опубликовано: 07.10.1984

Автор: Тарумов

МПК: G21B 1/00

Метки: мишень, пучков, реакторе, релятивистских, сильноточных, термоядерном, транспортировки, электронных

...В средней плоскости между катушками 1 равномерно по кругу расположены соленоиды 5 прямоугольного сечения с осями, направленными по радиусам внутрь взрывной камеры 2, и создающие сильные локальные магнитные поля, Соленоиднце катушки 1 и 5 располагают так, чтобы обеспечить плавный переход от сильных полей дополнительных катушек 5 к ведущему магнитному полю катушек 1, Внутри соленоидов 5 расположены высоковопьтные вакуумные диоды 6, подключенные через ВЛМИ 7 к источникам сильноточных РЗП 8. Каждый диод 8 состоит из тонкого плоского протяженного/катода 9 ножевого типа, укреп" ленного на высоковольтном электроде ВЛИИ 10, и анода 11 из тонкой фольги, обеспечивающей прохождение через нее РЗП с малым рассеянием.Катодные,ножи, высота которых в...

Номер патента: 1205743

Опубликовано: 30.03.1987

Авторы: Гордеев, Зиновьев, Овчинников, Хребтуков

МПК: H05H 6/00

Метки: атомарного, водорода, мишень, струйная

...синтезу и уменьшитьрасходуемую мощность.На фиг 1 схематически изображенамишень, на фиг. 2 представлена зависимость степени диссоциации от температуры.На поверхности вольфрамового капилляра 1 расположены токавводы 2,Со стороны подачи молекул водородакапилляр 1 закрыт перфорированнымконусом 3.Снабжение капилляра токавводами, расположенными заподлицо с его поверхностью, обеспечивает постоянство линейного сопротивления па всей длине, что приводит к уменьшению энергозатрат и увеличивает долговечность конструкции, 35Введение перфорированного вольфра мового конуса, раэагреваемага излучением рабочей части капилляра, позволяет избавиться ат прямапролетных 40 частиц, неиспытавших столкновений с горячеФ стенкой. 2Кроме того, число столкновений...

Номер патента: 1001185

Опубликовано: 07.08.1987

Автор: Тарумов

МПК: G21B 1/00

Метки: инерционным, мишень, пучков, реакторе, релятивистских, сильноточных, термоядерном, транспортировки, удержанием, электронных

...из тонкой фольги, обеспечивающей прохождение через нее РЭП с малым рассеянием, Катодные ножи 9, высота которых в.несколько раз превышает величину зазора между кромкой ножа и анодом, составляют одинаковые части колец большого круга, расположенныхв плоскостях инжекции, параллельных экваториальным плоскостям 4 и смещенных от них на небольшое расстояние,превышающее толщину пучка, в сторонусредней соленондной катушки 1. Втолстых стенках взрывной камеры 2большого диаметра ( 6 м), рассчитанной на удержание мощного взрыватермоядерной мишени (мощность взрыва Ъ 1 Оф Дж), имеется ряд узких плоских отверстий 12, сквозь которые РЭП попадают в рабочий объем взрывной камеры. Взрывная камера содержит газ(воздух) при низком давлении, составляющем...

Номер патента: 1346170

Опубликовано: 23.10.1987

Авторы: Калинин, Карнаухов, Савицкий, Тарасенко, Цеслер

МПК: A63B 63/02

Метки: мишень, спортивно-игровая

...на фиг. 2 - то жедля слабых ударов мяцей.Спортивно-игровая мишень (фиг. 1) содержит корпус 1, представляющий собой стойку, плоскость 2, воспринимающую удары, датчик 3 и звукоизолирующую прокладку 4.Датчик 3, регистрирующий удары мяча 6 в плоскость 2, воспринимающую удары, расположен на плоскости 2 с задней стороны и не касается других предметов. В кацестве датчика 3 может быть использован пьезоэлемент. Плоскость 2, воспринимающая удары, крепится к корпусу 1 через звукоизолир ующую и рокл адку 4. 20 Спортивно-игровую мишень используют следующим образом.При попадании мяча 6 в плоскость 2, воспринимающую удары, датчиком 3 регистрируется попадание мяча в цель. При попадании мяча в корпус 1 удар на датчик 3 не передается благодаря...

Номер патента: 1497653

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Кулешов, Новоселец

МПК: H01J 29/10

Метки: деформографической, мишень, проекционной, трубки, электронно-лучевой

...шлирец-систезлы, котсрдл преобразует фазовую модуллццо светового потока, котораяпроиэлодггсл мишецью, в модузяшо по интсцсивцости. Отираше з дпсаццзйцд мпнеци ицфзрмации осуществиется электроццым .)учом, энергия электро- ЦОВ КотОРО ГС) ТЛК 013 Д з ЧТО Нд ДИЭЛЕКТ рическойш.ц)жке 1 осдждсиотся заряды, ис й. рси и)увшие заряды .)лектростд гичск. из)бр;лссзци 5,В 1 д ц гл прим рд рс дизспии мож -по .1 эсд 1);1 г, ),)д зооптичегкую мишец.,ц кдчег.ве д злс ктрис ской п)дпожки1 си)эль зуг гг г;одд толгипой10 мкм,.1 л с( р Г ),131,1) 1 ц с.т с л 1 з 1 ро к) 151 Рейпрозрд и п.елки (пО т )пц)оп .200 Л,з кот ор)й методом фотолитс) гр 11)ииобр;ззус тсл рсснетчдтдл с.труктурд сгцрицс)й по.ос.ок 5 1)г(м и рдсстоциеммежду цили "20 мкм,Б кдчест 1...

Номер патента: 1526651

Опубликовано: 07.12.1989

Авторы: Армошка, Пукас, Разутис, Станкявичюс, Сукацкас

МПК: A61B 10/00

Метки: градуировки, диагностических, мишень, настройки, приборов, ультразвуковых

...ул. Гагарина,101 Изобретение относится к ультразвуковой измерительной технике и можетбыть использовано при разработке иповерке ультразвуковых диагностичес 5ких приборов,Целью изобретения является повышение точности градуировки приборов,На чертеже изображена собраннаямишень, разрез. 1 ОМишень состоит из полимерныхпленок 1 и 2, натянутых и сжатыхполовинками опоры 3, Элементы 1-3 составляют несущую конструкцию для отражающих элементов 4 и 5, при этом 15элемент 4 - пузырек воздуха, элемент 5 - металлический шарик. Заготовки пленок прессуют с клеем или подвоздействием температуры и натягивают на опору, 20Мишень используют следующим образом.Мишень с помощью специального устройства закрепляют в ванне с водой(не показано), в поле...

Номер патента: 1308168

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Ватницкий, Перелетов, Прудников, Синицын

МПК: H05H 5/02, H05H 6/00

Метки: генерирования, излучения, мишень, тормозного

...периферии к центру пучка можно введением 168 2в пучок конусообразного поглотителявыравнивающего фильтра или утолщениеммишени сравнительно с толщиной,соответствующей оптимальной (максималь" 5 ной) интенсивности тормозного излучения. Уменьшить параметр И от краевмишени к центру можно; концентрируяв центре мишени материалы с нужныматомным номером.Оба этих способа регулированияинтенсивности тормозного излучения попрофилю пучка имеют .свои недостатки.В первом случае практически не уменьшаются габариты выходного устройства, а если и сокращаются размерыфильтровой части мишени, то толькоза счет использования материала с высоким атомным номером. В то же времятакие фильтры, как известно, существенно искажают энергетическийспектр по профилю пучка...

Номер патента: 1384181

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Лысенко, Скибенко, Юферов

МПК: H05H 1/00

Метки: корпускулярного, мишень, плазменного, потока, торможения

...напуск рабочего газа, например водорода, во внутреннюю полость камеры 2, где он превращается либо в жидкий, либо в твердый криоконденсат 5 в зависимости от температуры стенок камеры 2.На этапе торможения открывается тепловой ключ 12 (разрывают тепловой контакт между криостатом 1 и камерой 2) и задвижки 6 и 7. Плаэменный или корпускулярный поток попадает внутрь мишени, При-этом крйоконден/сат 5 в камере 2 плавится и переходит в газообразное состояние, эаполняя равномерно все пространство внутри корпуса иишени, Торможение плазменного или корпускулярного потока происходит частично за счет потерь энергии на фазовых переходах(криоконденсат - криожидкость - пар),но в основном за счет элементарныхпроцессов иониэации, диссоциации,возбуждения...

Номер патента: 1791280

Опубликовано: 30.01.1993

Авторы: Абашин, Балабанов, Мутилин, Салахов

МПК: B64D 3/00

Метки: аппаратов, буксируемая, имитации, летательных, мишень

...37, 38, 39, 40 связаны соответствующими полостями через электромагнитные клапаны 43, 44, 45, 46, 47, 48 с источником питания 21 и с внешней средой,Возможно также иное выполнение механизмв 19 и 20 и блоков 22 и 23 управления ими.Конкретное выполнение соединения источника 21 с внутренними полостями плунжеров 27, 28, 37, 38, 39, 40 может осуществляться с помощью тройника 49 и двойников 5 Ь, 51, 52 (см, фиг, 7, 10, 11),Дл 4 управления электромагнитными клапан ми ЗЗ, 34, 35, 36, 43, 44, 45, 46, 47, 48 на б, ксировщике 1 установлен пульт 53 управл ния и источник постоянного тока 54, причем, напряжение постоянного тока, например, +27 В; поступает на электромагнитныеклапаны 33, 34, 35, 36, 43, 44, 45, 46, 47, 48, установленные в основном...

Номер патента: 1837036

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Абашин, Мутилин, Салахов

МПК: B64D 3/00

Метки: аппаратов, буксируемая, имитации, летательных, мишень

...них установлен упор 25, контактирующий с выступом 26 на стержне 15.Механизм 10 одновременного изменения пространственного положения основных 5 и дополнительных 6 секций в продольной плоскости мишени состоит из привода 27, например электродвигателя, кинематически через ведущую шестерню 28 и ведомое колесо 29 связанного с осью 4.В корпусе 11 фюзеляжа 3 буксируемой мишени выполнена прорезьдля свободного поворота оси 4 иэ горизонтального положения в вертикальное,.Блок управления 8 механизмами 7 и 10 выполнен в виде источника питания, например постоянного тока, связанного с передатчиком команд, выход которого связан с передающей антенной 30.На корпусе 11 фюзеляжа 3 буксируемой мишени установлена приемная антенна 31, связанная с приемником...

Номер патента: 1838749

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Коновалов, Столов, Сырыгин, Яковлев

МПК: F41J 5/02

Метки: лучевая, мишень, неразрушаемая

...15(фиг,З) подключ ны соответственно к фотодиодам 9 к ординат Х, У через соответствующие усилители 13, формирователи 14, ключи 16,Работа мишени будет понятна после р ссмотрения работы одной функциональн й группы Гр;1 координаты Х(У) мишени, с держащей восемь оптоэлектронных пар ( - 8) из светодиодов б с номерами О. 1,7 (фиг.1) и прети вооехсащих фотодиодов 9 с т кими же номерами, Пока пуля 11 отсутств ет в плоскости мишени, при поочередном о лючении светодиодов группы с помощью к ючей 20 (фиг.2) сигналами а, Ь, ., т мног фазного генератора 21, работа которому р зрешена изначально по входу СО, их ими льсы света (фиг.4, а, б, в, г, д, е, ж. з - и рвые импульсы) достигают всех противол жащих фотодиодов, на которых нарастат при включении и...

Номер патента: 1829882

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Головин, Искандарян, Кокорин, Потураев, Стирин, Хатков

МПК: G21K 1/08, H05H 6/00

Метки: вывода, заряженных, мишень, пучка, частиц

...частиц с энергетической дисперсией и имеет следующие матрицы перехода:в горизонтальной плоскости 35аР Из" 2 М" )"О-1 40 22 12 12 23ОО -1М " - соответствуощие элементы мат- рицыМ М 1,1 1где 1. = 45 а элементы матрицы М 1 имеют еледующийвид:М" =соз а+19 тзи а М"ц = р зи а;М"3= р(1 - соз а)1И = -(сова(Сдт +Йдт )-Б 1 па21 7 гк(1-1 Кт абдт1 2М 22 =соза+ 3 и ат 9 72М 23 - зи а+ 9 т г (1 - соз а);МЗ = О М 32 = В М 33в вертикальной плоскости1 2 М ММ гг гО 1-1 -96 6 О -1 О О Изобретение позволяет создать болеепростые и менее габаритные, зеркально симметричные телескопические магнитныесистемы для вывода пучков заряженных частиц на мишень. Габаритные размеры уменьшаются не менее чем в два раза, При этом отпадает необходимость относитель...

Номер патента: 1593361

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Добродеев, Кочетов

МПК: F41J 5/04

Метки: мишень, фотоэлектронная

1. Фотоэлектронная мишень, содержащая две группы линейных фотоприемников из n элементов и два линейных источника излучения, причем каждая группа линейных фотоприемников и соответствующий линейный излучатель размещены попарно диаметрально противоположно друг другу и оптически сопряжены между собой, а также индикатор, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности регистрации результатов пулевой стрельбы по мишени при изменении дальности направления и скорости стрельбы, в нее введены два сумматора с n-входами каждый, генератор тактовых импульсов, схема И, коммутатор, два блока определения места попадания пули в мишень с двумя управляющими, тактовым и n информационными входами и n+1...

Номер патента: 1612848

Опубликовано: 10.03.2000

Авторы: Константинов, Кузнецов, Манагаров

МПК: H01J 29/08

Метки: видикона, мишень

Мишень видикона, содержащая растр с фоточувствительными элементами и реперными метками, отличающаяся тем, что, с целью повышения степени стабилизации положения растра при уменьшении потерь его полезной площади, реперные метки выполнены с коммутируемой стороны в пределах растра в количестве не менее трех в виде локальных областей с дефектами структуры в одном из конструкционных материалов мишени, причем площадь каждой области не превышает площади одного фоточувствительного элемента.

Номер патента: 1580860

Опубликовано: 27.09.2013

Авторы: Гурский, Зеленин, Конюшенко, Корж, Столетов

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, магнетронного, мишень, распыления

Мишень для магнетронного распыления в вакууме, содержащая диск из распыляемого немагнитного материала с углублениями и концентричные полюсные наконечники, расположенные в углублениях, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет уменьшения деформации мишени при ее разогреве, углубления выполнены с нераспыляемой стороны диска, а полюсные наконечники выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого превышает коэффициент линейного расширения материала диска, и жестко соединены с поверхностью углублений, причем их толщина составляет 0,3-0,5 толщины диска.