О пгсга рпи е изобретения

8957 оюз СоветскиоциалистическРеслублик Е ЗОБРЕТЕН И ЕТЕЛЬСТВУ ВТОРСКОМУ ва 7/26-25) М. Кл 68 асударственные камитетСавета Министров СССРеа делам иэоеретенийи ОтксытиЙ иорит юллетеньпубликовано 05 ХН.197 ДК 621.328.002. .54(088,8) 7.11.1974 Авторыизобретен ршев и В, В. Степанов н аявител ВКИ ТРАНЗИСТОРО полнения вручну с шариковыми выПредложенное Его производител тому, что оно сна довои головкои с ство щупов соотв дов). Головка вст манипулятора и с тацин полупровод жению и блоком параметров. На фиг. 1 показано предложенное устройство, вид сбоку и сверху; на фиг. 2 - манипулятор с верхней и нижней зондовыми головками; на фиг. 3 - эондовые головки со щупами, разрез по вертикали и вид по стрелке А; па фиг. 4 - поворотный рычаг манипулятора в момент загрузки гнезда транзистором; на фиг. 5 - поворотный рычаг манипулятора в момент фиксации транзистора на позиции измерения; па фиг. 6 - верхняя и нижняя зондовые головки со щупами в момент контактирования с транзистором.Устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами (см. фиг. 1) состоит из вибробункера 1, наклошюго лотка 2, манипулятора 3, в который вмонтированы две зондовые головки 4 и 5 (см. фиг, 2 и фиг.З) со щупами 6, соединенные с измерительным1 Зависимое от авт, свидетел явлено 26,Х.1970 (Ж 1488 с присоединением заявки ата опубликования описани П, Н. Масленников, А, М, Баховк СТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗ Изобретение предназначено для использования в производстве полупроводниковых приборов, в частности, для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами.Известно устройство для разбра ковки 5 транзисторов с шариковыми выводами, состоящее из транспортирующего устройства с вакуумными присосками, разгрузочной карусели с ячейками по группам классификации, манипулятора, микроскопа для ориентации 10 пластины и зондовой головки для измерения параметров транзисторов, соединенной с измерительным устройством. При работе устройства транзистор вруч ную ориентируется с помощью микроскопа вниз выводами относительно вакуумной присоски, находящейся на четырехпознционной карусели транспортирующего устройства, и посредством манипулятора - относительно 20 щупов зондовой головки. Затем присоской, подводимой со стороны подложки, он переносится на позицию измерения, где определяется правильность подключения выводов транзистора к измерительным цепям. Далее 25 измеряются параметры, и приборы классифицируются по группам. Измеренный транзистор сбрасывается присоской в соответствующую классификационную ячейку. Такое устройство малопроизводительно из-за вы ю ориентации транзистора водами.устройство более надежно, ьность повышена благодаря бжено дополнительной зончетырьмя щупами (количеетствует количеству вывороена в поворотный рычаг оединена с блоком ориенниковых приборов по полоизмерения электрическихустройством. 1-1 икняя зондовая головка 5 вмонтирована в поворотный рычаг кронштейна 7 манипулятора д.Предложенное устройство работает следующим образом. 5Из вибробункера 1 транзисторы 8 подаются в гнездо 9 нижней зондовой головки 5 и фиксируются по упорам (см. фпг. 4).Затем вибробункер отключается, и кронштейн 7 переносит транзистор к верхней зондовой 10 головке 4 (см. фиг. 2). Кронштейн перемещается с помощью двух кулачков, укрепленных на распределительном валу (на фиг. 2 не показаны), и соединенных с рычагами 10 и 11, один из которых поворачивает крон штейн, а другой поднимает его к неподвижной верхней зондовой головке, совмещая по оси с последней.Для точного совмещения двух зондовых головок нижняя перемешается по копиру 12. 20 После подведения нижней зондовой головки 5 к верхней 4 на расстояние 1 - 1,5 лл и соосного совмещения их фиксатор 1 д (см. фиг. 5), установленный в неподвижном кронштейне манипулятора, прижимает транзистор 25 к двум штифтам 14, укрепленным в посадочном гнезде нижней зондовой головки,При соосном совмещении (шупамн, обращенными навстречу друг другу) двух зондовых головок транзистор касается четырех 30 подпружиненных щупов, выступающих на 0,1 - О,З лм из верхней зондовой головки. Так как поджатие нижней зондовой головки к верхней во время совмещения продолжается, то верхние щупы, контактируя с 35 транзистором, утапливаются до уровня площадки верхней зондовой головки.Подпружиненная втулка 15, подвижная относительно гцупов нижней зондовой головки 5, опускается, в результате этого к транзистору прижимаются четыре нижних подпружиненных щупа. Щупы зондовых головок выполнены так, что диаметры их контактирующих площадок составляют не менее полутора диаметров шариковых выводов. Такая конструкция щупов обеспечивает надежное контактирование с шариковыми выводами. Те щупы, которые контактируют с пластиной со стороны подложки, автоматически отключаются, и параметры измеряются посредством щупов зонда, контактирующего с шариковыми выводами, независимо от положения пластины (вверх или вниз выводами). В соответствии с параметрами приборы классифицируются по группам,После окончания замера параметров нижний кронштейн манипулятора опускается с копира и под действием пружины 1 б поворачивается на определенный угол к позиции разгрузки.Предмет изобретенияУстройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами, содержащее загрузочное устройство, манипулятор, зондовую головку со щупами, измерительное устройство, блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, оно снабжено дополнительной зондовой головкой, причем щупы обеих зондовых головок подключены к измерительному устройству через блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора.389578 Фие б Заказ 660/7 ОЦНИИПИ Гопист Изд.979 Тираж 78сударственного комитета Совета Ми по делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. 4 ПодписноеССР оролская типография Калужского областногоательств, полиграфии и книжной торговли Малоярославецка управления Составитель Н. ОстровскаяРедактор Т. Орловская Техред Т, Ускова Корректор О, Усо