Дозирующее устройство

Союз СоветсиикСфциалистичесниаРеспублик Оп ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1889741ао делан лзабретенвк и открытий(72) Авторы изобретения В.А.Леонов, В.Д.Ходжаев, Л.К.Давыдоваи И.П.Музанов 7 ) Заявитель Московский институт электронного машиностроенияМ % ДОЗИРУЮЩЕЕ УСТРОИС ва. чт щее элвиброб торого кольце Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при нанесении пленок методом тер-. мического испарения и конденсации.Известен испаритель с электронным нагревом. Дозировка требуемого количества испаряемого вещества осуществляется заранее, до начала технологического процесса, либо путем контроля в процессе напыления какого- либо параметра получаемой пленки 11,10Недостатком этого устройства является ограниченность объема дозированного вещества, сложность осуществления контроля процесса нэпыле 15 ния пленок, а также неравномерность протекания процесса испарения веще-ства из-за постоянного уменьшения его количества в тигле.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство, содержащее электромагнитный вибратор, вибробункер, на внутренней стороне которого имеется вин-. товой желоб и кольцевая проточка с отверстием, расположенным в верхней части желоба. Испаряемый материал, помещенный в бункер, под действием вибрации перемещается по желобу вверх и через отверстие в стенке бун кера попадает на испаритель 21.Недостатком данного устройства является нестабильность подачи дозированного вещества, подаваемого на испаритель, обуславливаемая неравномерность подачи испаряемого вещества по желобу вибробункера, что приводит к большим технологическим разброеам параметров получаемых пленок.Цель изобретения - повышение стабилизации подачи испаряемого вещестставленная цель. достигается те озирующее устройство, содержаектромагнитный вибратор и ункер, на внутренней стенке квыполнены винтовой желоб, вая проточка и отверстие,88974 причем кольцевая проточка и отверстиевыполнены в верхней части вибробункера, снабжено дознрующим кольцом свырезами, установленным в кольцевойпроточке с возможностью вращения,причем вырезы дозирующего кольцарасположены на уровне отверстия вибробункера.На фиг. 1 показано дозирующееустройство, общий вид на фиг. 2 -вибробункер.с отверстием, перекрытымкольцом, на фиг. 3 - то же, с открытым отверстием на фиг. 4 - дозируюцее кольцо, разрез на фиг. 5 - разрез А"А на фиг, 4.15Устройство содержит электромагнитный вибратор 1 и жестко соединенный сним вибробункер 2, на внутренней стороне которого имеется винтовой желоб3, отверстие 4, расположенное в26верхней части желоба, дозирующеекольцо 5 с вырезами 6, расположенноев кольцевой проточке на уровне отверстияУстройство работает следующим об-. д 5разом,Испаряемчй материал помещаетсяв вибробункер перед началом технологического процесса напыления. Впроцессе напыления вибратор 1 передает вращательное колебание вибробун. керу 2 и частицы испаряемого материала под действием вибрации перемещаются вверх по винтовому желобу 3. Одновременно под действием вибрации35дозирующее кольцо 5 вращается внутривинтового желоба. Скорость вращениязависит от частоты и амплитуды колебаний вибратора 1. Испаряемый материал, поступающий по винтовому же 40лобу 3 наверх, накапливается на верхнем горизонтальном витке спирали иподается на испаритель только в моменты, когда вырезы 6 дозирующегокольца 5 совпадают с отверстием 4.В остальные моменты времени дозирую 45щее кольцо 5 перекрывает отверстие 4и предотвращает доступ испаряемогоматериала к испарителю.Количество дозированного вещества,подаваемого на испаритель, зависитот размеров и количества вырезов 6 14дозирующего кольца 5, скорости его вращения и размеров желоба и может быть легко определено как аналитически, так и экспериментально. Стабилизация количества дозированного вещества, подаваемого на испаритель, обеспечивается тем, что в промежутках между подачей вещества на испаритель оно накапливается на верхнем горизонтальном витке желоба, геометрические размеры которого определяют объем подаваемого вещества (лишнее поступающее вещество автоматически ссыпается вниз).Таким образом, предложенное устройство позволяет исключить влияние неравномерности подачи испаряемого вещества по желобу внбробункера, стабилизировать количество доэированного вещества, подаваемого на испаритель, улучшив тем самым воспроиэводимость технологического процесса напыления пленок и уменьшив технологические разбросы их параметров. Формула изобретенияДозирующее устройство, содержащее электромагнитный вибратор .и вибробункер, на внутренней стенке которого выполнены винтовой желоб, кольцевая проточка и отверстие, причем кольцевая проточка и отверстие выполнены в верхней части вибробункера, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения стабилизации подачи испаряемого вещества, оно снабжено дозируюпрщ кольцом с вырезами, установленными в кольцевой проточке с возможностью вращения, причем вырезы дозирующего кольца расположены на уровне отверстия вибробункера. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Данилин Б.С. Вакуумное напыление тонких пленок. М., "Энергия",1967, с. 233. 2. ИнФормационно-справочный листок. МЭП, 001769, 1969 (прототип).