Номер патента: 889742

Авторы: Дорохов, Пуховицкий, Федоров

ZIP архив

Текст

Союз Советских,СоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 889742ло делам изобретений и открытий(71) Заявитель 4) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР И ой бретение откосхнике и можетакуумном техни. ся к вак зова обор быть испо логическо ов й з рсти одерец вор,с оедиосту ыи с ьного тел езат р имеОость ю надеж енную т отверстие в корпусе уплотняется только в одном месте. Поэтому при наруше- нии уплотнения в этом месте происходит разгерметизация вакуумной системы. Кроме того, необходимость сложной конструкции привода, вызванная взаимным расположением отверстия и фланца с уплотнением, также снижает надежность уплотнения.Наиболее близким по технической сущности является вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фла Известен вакуумнжащий корпус с отвес уплотнением,дом возвратно-пмещения 115,Однако этот вакует недостаточно высуплотнения, обуслов нец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного ,перемещения, причем насопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубления и выступ, Этот затвор имеет более простую конструкцию 12.Недостаток данного затвора заключается в том, что при выполнении фланца с уплотнением цилиндрической формы надежность герметизации является недостаточно высокой, так как этом случае имеет место неравномерное распределение усилий по криволинейной поверхности углубления в корпусе в месте уплотнения.Цель изобретения - повьппение надежности герметизации.Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с отверстием, фланец с уплот нением, соединенный с приводом возв ратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях889742 Формула изобретения О г аказ 10903/46 Тираж 1051 Подписно НИИП илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна корпуса и фланца выполнены соответст венно углубление и выступ, углубление и выступ сопрягаемых поверхностей корпуса и фланца выполнены трапецеидальной формы.В поперечном сечении любой точки углубления поверхности корпуса под действием привода возникают равные по величине усилия герметизации отверстия, что обеспечивает высокую надежность уплотнения.Наилучшее распределение усилий имеет место прй угле между боковыми поверхностями углубления в пределах 90- 1 ЩОНа чертеже изображен вакуумный затвор, общий вид.Вакуумный затвор содержит корпусс отверстием 2 и углублением 3, фланец 4 .с выступом и уплотнением 5, привод 6 возвратно-поступательного перемещения пневматического типа. Углубление 3 и выступ с уплотнением 5 выполнены трапецеидальной Формы.Затвор работает следующим образом.Под действием привода 6 фланец 4 с выступом и уплотнением 5 перемещается до соприкосновения с поверхностью углубления 3 корпуса 1. При дальнейшем перемещении фланца 4 происхо-. дит деформация выступа с уплотнением 5, обеспечивая надежную герметизацию отверстия 2 в корпусеПри загрузке иэделия через затвор (на чертеже не показан) по действием привода 6 происходит перемещение фланца 4 с выступом и уплотнением 5 от поверхности углубления 3 и разгерметизация отверстия 2. Вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, 1 причем на сопрягаемых поверхностяхкорпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ, о т -л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности герметизации, углубление и выступ сопрягаемыхповерхностей корпуса и фланца выполнены трапецеидальной формы. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Вакуумные загрузочные шлюзы воборудовании электронной промышленности. Обзоры по электронной технике.ЦНИИ. Вып. 7(140), И "Электроника",що 1973. 2. Патент США В 4008683,кл. 118-491, 1977 (прототип) .

Смотреть

Заявка

2908997, 09.04.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6707

ФЕДОРОВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ПУХОВИЦКИЙ РОДИОН ВЛАДИМИРОВИЧ, ДОРОХОВ АЛЕКСАНДР ГРИГОРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 13/08

Метки: вакуумный, затвор

Опубликовано: 15.12.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-889742-vakuumnyjj-zatvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный затвор</a>

Похожие патенты